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關於環境部將管制半導體製程清洗元件所需的氫氟碳化物議題，再度被外界關注，不過該議題討論已久，國內龍頭半導體大廠多已有接軌法規的準備。台積電（2330）今（6）日回應也提到，針對氫氟碳化物（HFCs）的使用，台積公司將配合主管機關規範，同時持續開發與導入製程使用削減技術，並加速長期在替代化學品的相關研究。
台積電回應該議題全文如下：
「綠色製造是台積公司的永續承諾，而推動低碳製造為其中關鍵一環。台積公司透過製程氣體使用量最佳化、替換高全球暖化潛勢的製程氣體、安裝製程尾氣處理設備、使用碳中和天然氣等永續技術與措施，已成功將含氟溫室氣體削減率提高至95%以上，積極邁向公司2050年淨零排放目標。
針對氫氟碳化物（HFCs）的使用，台積公司將配合主管機關規範，同時持續開發與導入製程使用削減技術，並加速長期在替代化學品的相關研究。」
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