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崇越擴大 GaN 新品 搶先進封裝、高性能基板商機 

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經濟日報 記者蘇嘉維/台北即時報導

半導體材料通路大廠崇越科技(5434)引進日本信越新型氮化鎵(GaN)on QST 晶圓,並與國內晶圓代工廠展開合作,滿足客戶製程規格需求,且配合客戶未來大尺寸晶圓的 GaN 製程趨勢,已建立12吋 QST 晶圓的生產技術。由於消費性電子、5G通訊、車用電子強勁需求帶動,預期未來氮化鎵應用將高速成長,有助於推升崇越科技成長動能。

隨人工智慧應用強勁需求,帶動5奈米和3奈米等先進製程材料需求,以及 CoWoS 及3D IC先進封裝產能。崇越科技針對半導體先進封裝發展,發表「3D IC晶片堆疊金屬細線路接合技術」。

為求效能最大化,需提升接點數量,金屬接合技術面臨多種新型的挑戰,包含:最大限度縮小凸點間距及尺寸,以及增大基板尺寸所帶來的熱應力問題。崇越科技與三菱綜合材料合作,針對這兩大市場趨勢,提供三種新型的電鍍材料作為解決方案,分別為「奈米多孔銅結構接合技術」、「低溫焊接應用銦鍍技術」與「基板端電鍍技術」。

為改善封裝製程中電鍍銅柱高度不同,導致孔洞等接合不良,「奈米多孔銅結構接合技術」在接合過程,不需進行化學機械拋光(CMP)或等離子體活化等前處理步驟,同時改善良率並縮減製程,降低成本;相較銅柱搭配焊料也擁有更好的電阻與接合表現。

隨基板尺寸越做越大,現有焊接製程在溫度過高時會出現翹曲問題。崇越引進「低溫焊接應用銦鍍技術」,使用金屬銦作為電鍍材料,不僅可低溫焊接,更具備良好的成形性與無孔洞表現,可靠度方面表現優異,同時對於α粒子(Alpha particle)控制更可達到 SULA 等級避免軟性錯誤。

此外,為克服小間距基板上使用銲料球導致缺陷,透過「基板端電鍍技術」替代錫膏,實現無缺陷的一次性凸點鍍覆,展現優異的高度均一性。此特殊添加劑技術可於不同直徑的基板鍍覆,並保證良好的共面性和無孔洞效果,提升生產效率。

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