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台積電晶圓18A廠鰭積圈 製程創新創奇蹟

本文共477字

經濟日報 陳華焜

台積電晶圓18A廠為最先進製程4/5奈米生產基地,在高科技時代中隨著5G、物聯網、手機、車用晶片、AI等生活智慧化帶來的晶片需求激增,在確保提供高品質晶圓的前提下,改善先進製程從研發到量產的時程,縮短出貨時間與客戶共創雙贏,一直是每位台積人的光榮使命。

台積電晶圓18A廠鰭積圈 製程創新創奇蹟圖/中衛中心提供
台積電晶圓18A廠鰭積圈 製程創新創奇蹟圖/中衛中心提供
此次鰭積圈以第一性原理出發,審視每道製程目的,團隊大膽提出移除製程中薄膜沉積,並搭配半導體製程中的黃光、乾/溼式蝕刻…等多站點的優化,不只可省下長耗時的薄膜製程,並且可將移除薄膜的配套製程省略,帶來巨大的經濟及時間效益,減少製程道次亦降低表面缺陷產生機率,對產品良率有正向的影響。

鰭積圈將理論與模擬相互搭配,由理論導出實驗設計,並經DOE小心驗證,在每步驟皆考量表面缺陷及電性影響。最終團隊成功減少生產周期,並省下多步驟及機台購入,帶來製程中各式耗材、化學溶劑的節省,效益高達1.43億/年。團隊亦將相關內容登載於公司ESG ,為台積電友善環境、永續經營的理念貢獻心力。

台積電晶圓18A廠鰭積圈在廠長蘇慶煌的帶領下,持續改良製程,克服挑戰與創新突破,為台積電及客戶再創奇蹟。

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