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台積晶圓廠復原率逾八成 18廠已修復、龍潭廠復工

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各廠區調度人力搶修 協力廠緊急救援

台積電廠區深夜車水馬龍,停車場爆滿。 讀者/提供
台積電廠區深夜車水馬龍,停車場爆滿。 讀者/提供

本文共685字

經濟日報 記者尹慧中、陳昱翔、江睿智/台北報導

各界關注403大地震對半導體晶圓廠影響,在台積電(2330)、世界先進等晶圓廠製造工程師與設備商人員不眠不休修復下,台積電昨(4)日公告,晶圓廠設備的復原率超過八成,新建的晶圓18廠昨日晚間完全復原。台積電ADR 4日早盤上漲約1.7%。

台積電3日晚間表示,403大地震發生後僅10小時內,晶圓廠設備的復原率超過70%,4日晚間再度公告,表示整體晶圓廠設備復原率超過80%,晶圓18廠預估當晚就會完全復原。此外,建廠工地狀況檢查初步正常,因安全考量,3日台灣各地工地停工,確認安全後已於昨日恢復施工。這代表主導先進封裝的龍潭廠工地已復工。

業界指出,403大地震台積電各廠區急召輪班人員與調度人力、加上協力廠商人手,各大廠區外車水馬龍,連深夜停車場都大塞車,各廠輪班工程師緊急加入復原工作,讓不少設備重啟試機,4日就接近全數復原。

備受關注的台積電先進封裝重鎮龍潭廠此次傳出受地震疏散影響,生產製程設備因網路訊號不穩或斷線需重新設定參數。據了解,亞東工業氣體、志聖等協力廠配合客戶要求出動工程師現場協助復原,是晶圓廠復原率能大幅提升的關鍵。

台積電連續兩日公告最新進度,4日公告,晶圓廠設備復原率已超過80%,新建的晶圓廠(如晶圓18廠)預計晚間皆可完全復原。部分廠區少數設備受損並影響部分產線生產,主要機台包含所有極紫外光(EUV)曝光機皆無受損,處於震幅較大地區的部分生產線,預計需要較長的時間調整校正以回復自動化生產。

設備廠指出,因第二天餘震較少,復原工作加速進行。國科會指出,三大科學園區陸續復機校準中,竹科園區雖受地震影響最大,但未停水停電,這兩天應該機台校準完畢。

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