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花蓮地震 台積電:晶圓廠設備復原率逾70%

本文共425字

中央社 記者張建中新竹3日電

花蓮近海上午7時58分發生規模7.2地震,並發生多起餘震。台積電晚間表示,目前晶圓廠設備復原率已超過70%,晶圓18廠等新建的晶圓廠復原率,更已超過80%。

台積電指出,今天的地震在新竹、龍潭和竹南等科學園區最大震度為5級,台中和台南科學園區的最大震度為4級。

台積電表示,在台灣的晶圓廠工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區在第一時間進行疏散,人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位,詳細影響正在確認中。

台積電指出,基於在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備;目前晶圓廠設備的復原率已超過70%,新建的晶圓廠如晶圓18廠的復原率已超過80%。

台積電表示,雖然部分廠區的少數設備受損,並影響部分產線生產,但主要機台包含所有極紫外光(EUV)微影設備皆無受損;目前已有資源到位以加速達到全面復原,且持續復工中,台積電也與客戶保持密切溝通,並繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。

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