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被視為推動AI背後重大基石的全球半導體大廠Tokyo Electron(TEL)在台子公司東京威力科創,2023國際半導體展也不缺席,TEL集團總裁暨執行長河合利樹今年特別來台,於大師論壇分享有關半導體創新及世界的共享價值。
河合利樹執行長表示:「半導體產業的市場在2022年來到5740億美元,預期在2030年更將幾乎翻倍,超過1兆美元的市場價值;但人們也擔心將帶來巨大的能源消耗。因此Green x Digital正是我們所需要的。做為全球領先的半導體製造設備商,我們認為數位化和脫碳應該成為世界的共享價值觀。」
此外,東京威力科創技術長(CTO)洛彼得Peter Loewenhardt也參與此次IC Forum,將分享TEL半導體製造設備的最新技術。包含雷射晶邊修整系統(UlucusTM L),它大量減少純淨水的使用及粉塵、廢水的排放。洛彼得也將討論最新微影技術如何減少所需的EUV曝光次數,以節省電力及降低成本;極低溫蝕刻技術,利用極低的溫度,提高高深寬比蝕刻的速度及精確度。
東京威力科創總裁張天豪進一步補充說,近期大家常提到的EUV曝光機,但晶圓製程中還有很重要的設備塗布顯影設備,TEL在這領域有將近100%市占率,也有很多全球獨一無二的技術。他提到,首先是極低溫蝕刻技術,能利用極低的溫度,提高高深寬比蝕刻的速度及精確度;以及雷射晶邊修整系統,大量減少純淨水的使用及粉塵、廢水的排放達70%,「以技術端來觸發經濟成長,這是我們的責任」。
東京威力科創是Tokyo Electron(TEL)的台灣子公司,成立於1996年,於新竹科學園區設立總部,並於北中南各地設置辦公室,將半導體製造設備的高科技服務在地深耕。東京威力科創總裁張天豪表示:「我們非常重視台灣的客戶,並致力提供確實可靠服務,我們除了成立台灣技術中心、台灣訓練中心,更預計在2024年底啟用台南營運中心,我們預期,半導體製造設備市場將邁向兩年累計2000億美元的規模。東京威力科創早已做足準備。」
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