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台積電（2330）宣布不考慮進駐龍潭三期後，各縣市積極爭取台積電先進製程投資。除了台中市外，包括高雄市、台南市、雲林縣、嘉義縣、屏東縣都在爭取；最終落腳何處尚未定案，但依慣例，台積電最後會選擇進駐國科會開發的科學園區，換言之，有科學園區的縣市才有爭取條件。
國科會已多次表示，中部及南部已規劃有半導體產業用地，包括已奉行政院核定推動中的台中園區二期擴建、橋頭園區、台南園區三期擴建及楠梓園區等新設或擴建園區，均可容納半導體產業進駐。
換言之，只有台中、台南、高雄列候選地點。業界認為，目前以台中園區二期擴建最有可能性。
對於各縣市都想爭取台積電，行政院也不敢明確表態，為地方政治創造想像空間。民進黨籍立委邱志偉、賴瑞隆來自高雄選區，都點名應設在高雄，並建議將屬台糖土地的白埔產業園區，納入南科橋頭園區。
來自嘉義的民進黨籍立委陳明文、蔡易餘、嘉義縣長翁章梁則推動馬稠後產業園區「園中園」，將園區44.48公頃土地劃為科學園區，半導體設備、零組件及材料廠商進駐；行政院副院長鄭文燦還配合地赴園區視察，承諾分為兩期推動，先由經濟部園區管理局招商，再由國科會進行環評等程序，納入南科管理局。
目前國科會已開發嘉義園區40.54公頃，規劃引進精準健康、智慧載具、及智慧農業等產業。
國科會在屏東規劃科學園區，面積38.17公頃，內政部已於2023年5月核發開發許可，未來引進智慧農醫、綠色材料、太空科技及其他新興產業。簡言之，在國科會規畫中，嘉義和屏東園區並不是要做為半導體產業用地。
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