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日經報導，中國大陸在截至9月底的上季，半導體生產用機械和設備的進口額躍增93%至人民幣634億元（約87億美元），儘管美國、日本和荷蘭均已實施出口管制。
根據日經分析中國大陸海關資料，微影製程設備的進口成長將近四倍。大陸自荷蘭進口的這種設備激增逾六倍，其中大部分可能來自艾司摩爾（ASML）。微影製程設備在美、日、荷相繼實施出口管制後，從下單到交貨要等上6個月到1年。
東海東京研究所資深分析師 Masahiko Ishino 表示：「看到有可能無法取得設備，中國大陸製造商也許不管實際需求，匆促下單。」
大陸占艾司摩爾上季銷售的46%，遠高於一年前的14%。艾司摩爾財務長 Roger Dasse 表示，對中國大陸的出貨都是給中端和成熟製程，而非先進半導體，「在出口管制許可範圍內」。
大陸從日本進口的晶片製造設備也比去年同期成長近40%，包括微影和沉積設備，自美國進口的設備則僅較一年前增加大約20%。
至於各國在中國大陸上季半導體生產設備進口值的占比，美國由2021年的17%降到9%，日本由32%降至25%，荷蘭則由15%躍增至30%。
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