旭禾晶圓傳送設備 MIT高效率客製服務

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2023/09/06 19:00:00

經濟日報曹佳榮

有別於過往半導體相關自動化傳送設備多倚賴國外製造商，旭禾精密近年推出晶圓搬送設備MIT，可快速提供半導體業工廠客製化、標準化晶圓傳送設備方案，攜手客戶一同迎接台灣半導體經濟高效率及高效益世代。

旭禾精密座落於台南科學園區周邊，起初為台灣面板大廠自動化及測試相關製程設備商，2020年起轉型投入半導體及封測自動化設備、與客戶攜手導入Robot建置無人化智能工廠，包含工廠後段出貨全自動包裝線，將客戶產品帳料系統整合、出貨品質管控把關，落實以數據做為工廠智慧生產依據。

旭禾精密今年參加SEMICON Taiwan 2023國際半導體展，在南港展覽1館4樓N0881攤位，展示MIT EFEM晶圓傳送設備，支援對OHT或AGV通訊、簡易人機介面，使用者輕鬆操作，透過客製化及標準化設計整合，提供客戶穩定的晶圓傳送設備。除原設備的傳送功能外，其中，光學系統監控晶圓在傳送過程的破片風險，以及晶圓Particle監控，有效為客戶降低產品生產過程產生的風險與提高產品生產效益。