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SEMICON Taiwan/京皓科技 拓展半導體多元技術版圖

提要

深耕晶圓廠消防奠定優勢 新引進Surfx氬氣電漿設備、HBS表面分析儀及EVALED廢水減量系統 擴大服務能量

本文共1171字

經濟日報 劉美恩

因應全球半導體需求持續提升,京皓科技在2023年SEMICON TAIWAN擴大展出,除展出所代理日本「初田製作所」(HATSUTA)最新CO2自動滅火裝置CABINEX-EWT2外,也展出最新引進的Surfx常壓式氬氣電漿設備、HBS inline表面分析設備TOF-MEIS,以及EVALED廢水減量系統等,因應產業趨勢與時俱進,提供半導體廠房重要周邊設備。

京皓科技在2023年SEMICON TAIWAN擴大展出。 吳榮邦/攝影
京皓科技在2023年SEMICON TAIWAN擴大展出。 吳榮邦/攝影

京皓科技是日本百年消防大廠「初田製作所」在台灣主力合作的夥伴之一,致力提供高科技廠房防火專業服務,包含前期的規劃設計、安裝測試、拆機移機、定期檢測與更換零件服務,所有流程均由專業訓練的人員進行操作,不假外包之手,施工品質通過國內半導體晶圓廠的嚴格要求,確實為客戶降低生產製程風險,已站穩台灣半導體高科技廠房「整廠消防」規畫的市場,成為半導體擴廠指定合作廠商。

京皓科技與日本「初田製作所」主管團隊合影。京皓科技是日本百年消防大廠「初田製作所...
京皓科技與日本「初田製作所」主管團隊合影。京皓科技是日本百年消防大廠「初田製作所」在台灣主力合作的夥伴之一。京皓科技/提供

奠基於半導體產業已建立長期合作關係,京皓科技近一、二年成立新產品開發部,引進美國Surfx常壓式氬氣電漿設備、韓國HBS inline表面分析設備TOF-MEIS,以及義大利EVALED廢水減量系統等先進周邊設備,提供半導體廠更多元的服務。

Surfx常壓式氬氣電漿設備主要應用於表面清潔,擁有多項獨家優勢,包括:不產生微塵(Particle Free)、100%電中性反應氣體不會損傷基材、無靜電放電(Electrostatic Discharge,ESD)、不產生UV紫外光等優勢,適用於電子組裝、半導體封裝、醫療器材、醫療診斷設備領域嚴苛製程的要求。

京皓科技與美國Surfx主管團隊合影。京皓科技最新引進美國Surfx常壓式氬氣電...
京皓科技與美國Surfx主管團隊合影。京皓科技最新引進美國Surfx常壓式氬氣電漿設備,主要應用於表面清潔,擁有多項獨家優勢。 吳榮邦/攝影

HBS Inline多應用表面分析設備TOF-MEIS(飛時測距中能量離子散射儀),主要針對超薄膜元素組成進行深度分析(絕對定性/定量,分析區域可達表面以下400Å)。並可針對其他製程提供新型監控方式,例:ALD製程RCP配方控制確認、IGZO Sputter製程的多成分定量、CVD超薄膜製程的氫分析定量與High-k新材料開發、多成分超薄膜產品深度分析,屬一機多功能、多效益的自動化設備,可節省購買機台成本,同時提升廠房空間利用率。

近年全球永續經營與ESG浪潮,節能減碳已成為企業著重的目標,為幫助客戶減廢,京皓科技引進義大利EVALED廢水減量系統,透過真空蒸發技術使沸點降低,低耗能就能使廢水蒸發,達到水分子與廢棄物濃縮分離,不僅幫助客戶實現廢水減量目標,也能夠大幅降低廢水處理的成本,更能夠增加廢液中有價金屬被純化回收的機會,達成永續循環經濟的目標。

京皓科技以提供專業的消防服務起家,以理想的品質和工法且信譽優良,獲半導體廠的高度信賴。也因著在半導體產業的成功經驗,使京皓科技能跨足多元科技領域的企業,延伸更多的產品與服務。

京皓將秉持「卓越的工業服務經驗」與「豐富專業的服務技術」,致力成為最好的半導體產業服務公司。

京皓科技攤位編號:南港2館1樓P6008。

京皓科技在SEMICON除展示初田製作所最新CO2自動滅火裝置外,也展出Surf...
京皓科技在SEMICON除展示初田製作所最新CO2自動滅火裝置外,也展出Surfx常壓式氬氣電漿設備、HBS inline表面分析設備,以及EVALED廢水減量系統等。京皓科技/提供

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