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德揚曝光機 黃光製程助力

本文共435字

經濟日報 翁永全

曝光機用來生成精細電路,應用場域從PCB軟板到高階半導體製造;隨著不同產業,曝光機的定位有別。德揚光電總經理朱仁亮表示,德揚發展光罩對準曝光機多年,用在黃光製程,產品線完整,除獲二極體及被動元件產業採用,手動及半自動曝光機也獲得學校、研究單位好評使用。

德揚光電UV LED曝光機。德揚/提供
德揚光電UV LED曝光機。德揚/提供

朱仁亮表示,德揚以優越的UV曝光源光學路徑設計,加上採用優良UV鏡及透鏡元件,曝光機精度達到1um。此外,德揚握有機構設計能力,可自製UV LED曝光源,取代汞燈曝光源,具有省能源、無汞特點,且與汞燈曝光源設計相近,以透鏡組取代橢圓鏡收光,保留均勻化與平行光設計、氣冷散熱性佳。

線路製造工藝離不開曝光技術,製造成本比重35%以上。曝光機是大規模製造集成電路的關鍵設備,廣泛用於微機電、光電、二極體及被動元件領域,也是半導體生產的核心設備。產業界大量採用全自動、高產量曝光機、全自動雙面曝光機等,德揚的機台售價不到千萬元,半導體步進機開價1億元起跳,相距極大;每分鐘最高產能達6片基板,與售價相近的其他廠牌產能高出兩倍。

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