INFICON 強棒出擊感測器搭載機器學習及數位雙生

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2023/08/31 19:35:37

經濟日報翁永全

瑞士商INFICON在高精密度真空氣體偵測及分析領域久居龍頭地位，總部位於瑞士Bad Ragaz，在德國、瑞士及美國擁有世界一流的生產製造工廠，在歐洲、美洲、亞洲等15個國家設有子公司，服務全球客戶。

英福康總經理鄭國聲（左五）、總公司事業群總經理Hannah Henley（左六）... — 英福康總經理鄭國聲（左五）、總公司事業群總經理Hannah Henley（左六）與團隊，在去年半導體展展場合影。英福康/提供

總經理鄭國聲表示，INFICON在2000年成立英福康台灣分公司，對台灣半導體及光電產業的真空製程技術深入了解。藉由新式感測技術及產品結合智慧製造軟體方案，協助客戶提升良率，改善品質，減低成本。舉凡氦氣測漏儀、製程氣體分析儀、光譜儀、真空計及 Arcing detector等產品，為生產線不可或缺的設備。英福康在原廠支持下，今年將在台灣成立創新應用中心，針對客戶需求研發提供在地化的應用支援，也會積極爭取政府資源補助。

製程氣體分析儀RGA、光學式氣體分析儀、即時鍍率偵測儀、氦氣測漏儀與真空計。英福... — 製程氣體分析儀RGA、光學式氣體分析儀、即時鍍率偵測儀、氦氣測漏儀與真空計。英福康/提供

英福康公司將在2023半導體展南港展覽館四樓M0158攤位展出用於PVD 、CVD、Etch與廠務的多種精密儀器設備，包括製程氣體分析儀、光學式氣體分析儀、RF End point detector、即時鍍率偵測儀、廠務廢水VOC偵測儀及氟離子偵測儀等新產品。鄭國聲強調，在半導體前段製造，INFICON以感測技術搭載機器學習（Machine learning）協助先進製程開發，在半導體後段封測提供數位雙生（Digital Twin）生產排程系統，以先進演算法為生產過程中的各種動態狀況做出立即反應及更新排程。