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國際大廠霸佔的高精密、高技術的半導體前端設備，出現破口。台灣的天虹科技，如何憑藉來自應用材料的三位高管，後進市場，兩年內完成量產半導體等級設備的實績？
文 黃亦筠
2019年，新竹湖口一棟物流中心前，一行將近20位遠從美國飛來的蘋果主管、工程師面對兩道鐵門，一道寫著媽媽魚，一道寫著天虹科技，感到一頭霧水，心想這真的是要去稽查擁有無塵室的半導體設備廠嗎？
4年過去，蘋果的高層不再有疑惑。
12月掛牌上市的半導體設備廠天虹，是第一家本土公司量產半導體前端設備，其零組件已打入台積。
天虹當然已經搬家。在新竹湖口工業區，天虹外觀低調、樸質的5層樓廠辦內，身穿白色無塵衣的工程師，埋頭檢視外觀宛如變形金剛、由上萬顆零件組裝成的半導體前段薄膜製程機台——物理氣相沉積（PVD）、原子層沉積（ALD）設備，一台價值動輒2、300萬美元，十分驚人。
這類昂貴、高精密、高技術含量的半導體前端製程設備，向來掌握在應用材料、科林研發（Lam Research），以及東京威力科創等歐美日大廠手上。
但在台灣創立、營收18億台幣的天虹，卻僅花不到兩年就成功卡入市場，成為全台首家開發量產PVD、ALD設備的業者，機台打入晶電、三安光電、環球晶、朋程、鴻海等兩岸LED光電、化合物半導體大廠。
應材幫創業，打入半導體設備市場
為什麼一間後進市場、幾乎在業界橫空出世的天虹，能打入難度極高的半導體前端設備市場？
一攤開天虹創辦人羅偉瑞、董事長黃見駱、執行長易錦良的背景，幾乎答案揭曉一半，他們都出身全球最大半導體設備大廠應材，是應材幫創業。
時間回到2002年，當時在應材已經7年的黃見駱跟著同梯的羅偉瑞，出來創辦天虹，從湖口12坪大的辦公室起家，先是做半導體陶瓷零件銷售，一邊兩人還開了在新竹非常知名的冷凍鮮魚品牌媽媽魚。可說是一手摸索半導體零件，一手賣魚賺錢。
直到2015年，天虹已經是台灣最大半導體蛇腹管、陶瓷零件供應商，從台積、聯電到三星都是大客戶，一年營收已經超過6億台幣。
但黃見駱、羅偉瑞一直有個夢，就是有一天要跨入老東家的半導體設備領域。
黃見駱在應材是蝕刻設備工程師出身，客戶端的半導體設備機台一出問題，他就要想辦法維修。2000年左右台積要從8吋晶圓轉到12吋晶圓，已升上經理的他，代表應材負責台積新竹12廠建廠裝機，第一線了解客戶端的問題和解決方法。
「如果不知道機台結構怎麼設計的，說真的你很難幫客戶解決機台問題，我們得廣泛地了解製程關係、客戶需求，」黃見駱笑著說。
關鍵人物加入，勇敢跨域
從應材到天虹，黃見駱摸遍半導體設備需要的上千種零件、倉體，累積了半導體圈的客戶群，但他仍不敢貿然跨入美日歐大廠雄踞的整機設備領域。直到2017年，另一位同梯易錦良加入，天虹才大膽跨入半導體設備領域。
易錦良當時做到應材全球副總裁，負責17國的半導體設備銷售維修，手下管理3、4000人的團隊。當時已實現財務自由的易錦良，想做一些不一樣的事。
當時易錦良還曾向他在應材時期的友人、被陸媒捧為「讓西方膽寒的中國敢強牛人」上海中微半導體設備創辦人尹志堯請益。尹志堯告訴易錦良，自己創辦中微到實際賣出第一台設備，中間隔了3年。
「我只說，我希望我能一年賣出，」易錦良笑著回憶。
有了易錦良加入，底氣更足的天虹開始發展半導體矽基製程會用到的設備，但易錦良很清楚，一開始要拿下台積這樣的客戶，會耗掉天虹所有的資源，「我們憑什麼和國際大廠競爭？人不要自不量力，」他坦言。
真空鍍膜儀器廠英福康總經理鄭國聲觀察，「靈魂人物是易錦良，機台設備這一塊不是靠錢堆，是靠經驗，他把國外大廠的經驗帶回本土公司，他知道門檻在哪。」
「我油門要踩得很小心，油門是金流，我們有多少金流做多少事情，我們time to market很短，沒有準備好之前，我們不跨入，」黃見駱分析。
因此，在發展矽基製程設備的同時，天虹同步跨入光電類、化合物半導體領域，這些領域也開始有半導體等級設備的需求，從新製程導入就和客戶一起研究開發，天虹才有機會。
鍍膜技術連蘋果都認可
2019年疫情風雨欲來，卻讓天虹迎來轉折契機。
當時台灣LED磊晶龍頭廠晶電，正如火如荼開發mini LED並進入量產，原本要從歐洲進半導體等級設備，卻因為亞洲疫情嚴重，當時歐美技術因為人權考量，幾乎不到亞洲出差裝設備。
當時這批mini LED其實就是要用在蘋果筆電產品，量產時成迫在眉睫，無法拖延。
黃見駱記得，當時已經和天虹合作過一台PVD的晶電，研發工程師突然打電話來，要拿一片晶圓讓天虹做鍍膜測試。天虹鍍好交給晶電後不久，晶電開始非常頻繁地天天打電話提問，包括鍍膜的均勻度、耐力、溫度等等。
原來是天虹鍍出一片晶圓的成果，超越晶電內部4年研發的成果，讓晶電大為震驚。
但當時晶電口風非常緊，完全沒有透露這是要做什麼產品用，直到有一天，天虹直接接到一通電話，竟然來自蘋果。這才知道，原來那些問題都是蘋果迫切想了解。
晶電擔心疫情會讓歐美合作廠商不准出差，量產產生風險，於是決定在原設備之外，採用天虹的ALD機台。「歐美技師不能來，未來服務會是個問題，我們一方面也想培養本土商，」晶電董事長范進雍說。
當時天虹鍍出來的膜成效雖好，但成本是晶電原本需求的5至6倍。天虹需要大幅改製程、重新驗證，還要考慮機台未來的延展性，同時讓成本降到原本的五分之一。
「這前後必須要在三個月內完成，對我們是風險，對決定換用我們的晶電更是風險，它要確保我們可以追上去，」黃見駱說。
這開始雙方不眠不休地討論修改。「這是本土廠的優勢，服務速度非常快，即時趕上量產排程，」范進雍坦言，對晶電而言當然有風險和要付出的代價，但對天虹來說這是它們第一台ALD設備，資源人力投入也是不計成本，「雙方都投入相當的資源。」
晶電決定要採用天虹機台時，蘋果就派出將近20人，從美國飛來天虹湖口廠稽核。 天虹那時還沒有體面的廠辦，無塵室和會議室都放在媽媽魚的北部物流中心，建築外一道鐵門寫著媽媽魚，一道鐵門寫著天虹。蘋果的人員就穿過「媽媽魚鐵門」，擠進天虹會議室，坐著板凳稽核技術和財報。
當時做簡報的易錦良至今回想當天簡陋的會議室，都感到十分汗顏，他打趣形容，「我簡報最後一張放著，蘋果創辦人賈伯斯自車庫起家，我們從鐵皮屋起家。」
不和老東家搶台積，主攻化合物半導體
最後晶電下單6台ALD，「我們一收到蘋果的錢，立刻去買了現在這個廠辦，」他說。蘋果的認可和6台ALD訂單，成為晶電與天虹的重要時刻。市場也瘋傳，鴻海買下旺宏6吋廠準備做化合物半導體，用的也是天虹設備。
易錦良不願透露客戶資訊，他坦言台灣八成以上的化合物半導體廠，天虹都已打入。
化合物半導體是一個利基市場。
黃見駱解釋，在6吋晶圓設備上，國際大廠如應材，設計出來的都是標準品，不太有興趣和資源願意重新設計，「這些化合物半導體客戶和國際大廠買機台貴、客製化程度小，服務沒有我們在地的迅速。」
鄭國聲觀察，ALD領域全球最大的就是應材，天虹高管都是應材出身，天虹不會在爭取台積訂單上和應材競爭。
「天虹找到的利基市場就是氮化矽等化合物半導體，這對這些國際大廠還不那麼有肉，天虹有客製化優勢，」他認為，中國做化合物半導體的三安也是天虹的客戶。
不過也有同業認為半導體設備業已經進入高度競爭階段，特別是中國。
「大陸設備廠應該比台灣走得快，因為內需市場走得快，又有政府支持，資源規模都不是天虹這類台廠可以比，」一名日系半導體設備廠業務主管觀察，天虹未來可能很快就會遇到瓶頸。
易錦良表示，研發資源投入是關鍵。2017年時天虹研發工程師約30至40人，現在已經超過100人，每年研發人力是以20%增加的速度在前進。
目前天虹零件和設備業務幾乎已經各佔營收五成，設備累計已達70台的出貨量，這對2017年才跨入設備製造的天虹而言相當快速，代表天虹找對市場。
未來，走向AI更高效能、高速運算的需求，半導體先進封裝、矽光子成為討論的焦點，天虹已投入。「我們或許運氣好，我們也靠實力，」易錦良自信地說。
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