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儘管美國、日本和荷蘭已對中國大陸實施出口管制，大陸第3季半導體製造設備進口額較去年同期大增93%至人民幣634億元（87億美元）。
日經分析大陸海關資料顯示，在7到9月這段期間，大陸進口微影製程設備金額成長至去年同期的四倍，從荷蘭進口這類設備金額更激增至原有的六倍多，其中大部分可能來自艾司摩爾（ASML）。
大陸從日本進口晶片製造設備也比去年同期成長近40%，包括微影和蝕刻設備，來自美國進口額則僅比一年前增加20%左右。
各國在大陸上季半導體生產設備進口額占比，美國由2021年的17%降到9%，日本由32%降至25%，荷蘭則由15%躍增至30%。
大陸占艾司摩爾上季銷售的46%，遠高於一年前的14%。艾司摩爾財務長達森表示，對大陸出貨都是中端和成熟製程，而非先進半導體，「在出口管制許可範圍內」。東海東京研究所資深分析師石野雅彥表示：「看到有可能無法取得設備，大陸製造商也許不管實際需求，匆促下單。」
荷蘭要求該國業者出口用於製造先進晶片的特定微影設備時，必須申請許可，今年9月生效。微影機台從下單到交貨可能要等上六個月到一年。
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