蔚華以漢微科為師拚自製！推 SiC 基板、矽光子檢測

蔚華與南方科技合作舉行新品發表會，圖左起為蔚華總經理楊燿州、蔚華董事長秦家騏、股東邰中和、股東技嘉董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理王嘉業。王郁倫攝影

本文共1424字

2023/11/29 08:51:15

經濟日報記者王郁倫／台北即時報導

蔚華半導體代理業務遇逆風，正積極轉向自研檢測設備業務，除CIS檢測，董事長秦家騏28日攜手南方科技發表SiC（碳化矽）基板JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，創新程度吸引三大SiC基板台廠派員與會，矽光子檢測設備也正朝量產準備中，內部預估2024年在「自製為主，代理為輔」下，全年將挑戰獲利。

「我有個夢想，像漢民集團的漢微科，也是代理起家，後來投入前段設備，後來被ASML買走，是成功的案例，這就是因為他們有自己（研製）的東西。」蔚華董事長秦家騏以漢民集團為師，正大力從代理轉向自製之路，能否成為漢微科第二，業界正高度矚目。

攜手推出創新檢驗方法

蔚華科技（3055）28日攜手持股51%的數位光學品牌南方科技，共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，採用先進非線性光學技術，可以對SiC基板進行全片掃描，找出基板內部的致命性晶體缺陷，用「全檢」取代現行破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻「抽檢」方式，有助於協助改善SiC功率元件生產良率，並替基板廠節省10%物理耗損。

而南方科技能有如此創新檢驗方法，主要是因為該團隊過去做生物細胞檢測設備，蔚華因有半導體通路經驗，拿來運用於半導體檢測，竟意外使光學技術價值大幅提昇，機台設備身價超過4000萬~5000萬元。

對這個新檢測技術相當重視，合晶、環球晶、盛新半導體三大SiC基板台灣業者都派員出席觀禮，秦家騏開心透露很快就有訂單，「期望全球大賣！現在全世界最大的前三家（SiC基板業者）都有來溝通，我認為很有機會！」

目前相對矽晶圓產業製程已有穩定高良率，第三類半導體則仍有良率瓶頸，SiC產能開出不多，秦家騏表示，「如果成為產業檢測標準的話，肯定市場的量很大，且現在電動市場在各地滲透率才8~15%，加上充電樁，需要的晶片有多少！」他開心預估，2024年JadeSiC-NK檢測系統交期4~6個月，2024年5~6月開始交貨，一年可以賣數十台。

目前SiC大廠有Wolfspeed、美國Coherent、南韓SK Siltron、日本羅姆Rohm等，業界多以蝕刻檢測方式，將一個晶錠切成20片左右基板，取頭尾各一片做檢測，檢驗完也就破壞報廢了，導致每一個長晶爐每長出一顆晶錠都有約10%損耗，但同時也不能保證其他基板的品質，但南方科技的技術能做到一定深度掃描，許多關鍵缺陷都能抓出。