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台積電為提升永續風險控管，近幾年積極落實責任供應鏈的重要策略，為確保製程關鍵材料穩定供應，台積電除推動光阻供應商來台設廠、達成在地化生產外，也積極強化本土供應商的技術研發能力，在不影響原有製程品質與保護機密資訊的原則下，以「七大環節」輔導供應商開發品質符合台積電標準的微影製程材料，成功建立本土供應鏈生產線，年產值超過15億元，更大幅提升材料運輸效率高達75%，一同為發展永續的半導體供應鏈全力以赴。
台積公司資訊技術及資材暨風險管理資深副總經理林錦坤表示，公司透過扶植本土供應商具備關鍵材料開發能力，深化供應鏈營運永續性，進而提升台灣半導體產業競爭優勢，達到雙贏共好。
台積電強調，微影製程在半導體製造過程至關重要，是確保晶片品質與穩定性的核心技術之一，因其材料研發及生產技術門檻高，過往主要仰賴進口供料。
為提升本土供應鏈研發實力與生產效率，民國108年台積公司資材供應鏈管理處攜手奈米製像技術發展處展開「供應商原物料技術輔導計畫」，針對微影製程材料的「技術開發、品保分析、數據校正、樣品驗證、廠務配置、桶槽改善、擴產規畫」七大環節提供專業指導，不僅有效縮短供應商50%產線建置與產品驗證時間，其材料品質更優於台積公司製程標準、進一步提升良率，全方位強化供應商競爭力，為本土微影製程材料供應鏈發展奠定堅實基礎。
台積電進一步指出，輔導供應商精進原物料製程與品質是公司永續供應鏈管理的長期目標之一，除微影製程外，公司也將針對不同製程持續強化本土供應鏈的研發與製造實力，透過共同開發多元貨源及環保的新材料，降低營運中斷風險並友善環境，落實產業共好。
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