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微影發表LED光源投影曝光機

提要

高效環保的新一代半導體生產設備 通過客戶驗證 加值台灣產業競爭優勢

本文共560字

經濟日報 項家麟

全球半導體產業迎來革命性的突破,微影半導體公司日前在台南科學園區舉行產品發表會,正式推出全球第一套採用LED光源投影曝光機的半導體晶片解決方案,這套創新的曝光機,是一項高效且環保的新一代半導體生產設備,由微影半導體創辦人胡德立領導的國際團隊,在英國自主研發的成果,於今年成功通過台灣半導體客戶的驗證,並獲得預約生產訂單,可望為台灣半導體產業帶來巨大的競爭優勢。

微影半導體董事長胡德立(右三)與微影半導體製程中心工程師團隊合影。項家麟/攝影
微影半導體董事長胡德立(右三)與微影半導體製程中心工程師團隊合影。項家麟/攝影
微影半導體董事長胡德立表示,該公司自主研發的曝光機原型機已於2022年運到台灣,並成功通過台灣半導體客戶的驗證,取得驚人的成果,在獲得客戶預定的多套設備訂單後,決定今年在台灣成立微影半導體公司,並宣布將在台灣量產製造曝光機及配套的塗布顯影及檢測設備。

微影半導體發表的曝光機優勢,包括:一、首創採用LED紫外光源,不僅節能,也減少汞污染。二、可大幅提升曝光品質和效率,適應各種半導體製程的需求。三、塗布顯影、曝光、檢測三大黃光核心製程技術完全由國人主導自主研發,並將於台灣設廠生產製造,提供客製化「半導體黃光曝光生態平台」Turn-Key服務。

胡德立強調,微影半導體曝光機產品,是一項高效並且環保的新一代半導體生產設備,期盼與更多的合作夥伴分享微影半導體的創新成果,共同推動全球半導體產業的發展。微影半導體致力為全球半導體產業提供高效、環保、客製化的解決方案。

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