美歐合作開發半導體 PFAS 替代品 台廠也積極作為

美歐雙方4月5日「貿易與技術委員會會議」（TTC）後發布聯合聲明，其中提及持續展開研究PFAS 氟烷基化合物（Perfluoroalkyl Substance, PFAS）的替代品引發關注，台廠包含台積電（2330）、崇越（5434）、華立（3010）等近年接軌國際都已採取積極作為。

依據美歐雙方聯合聲明，雙方計話繼續努力尋找晶片中PFAS使用替代品的研究合作機會。例如計畫探索利用人工智慧能力和數位孿生（Digital Twin）來加速發現合適材料來取代半導體製造中的PFAS。

TSIA先前指出，由於 PFAS 對環境的衝擊及其持久性，愈來愈多國家在思考相關立法。美國 SIA 在美國發起 PFAS Consortium，針對 PFAS 在半導體製程中的使用及其重要性、潛在的排放途徑、以及若限制 PFAS 使用可 能造成的衝擊進行研究，相關論文均可在 www.spoomendonductors.org/pfas 上找到。

此外，美國 SIA 提出的 PFAS 自願協議草案，計劃開發計算 PFAS 使用和 排放的通用方法，承諾減少 PFAS 排放並分享有關 PFAS 減量的資訊。工作小組原則同意繼續討論該協議草案。 工作小組先前承諾在 2025 年消除微影中使用的 全氟辛酸（Perfluorooctanoic Acid, PFOA）。所有協會均確認在 2023 年已不再使用。工作小組將在2024 年 5 月的聯合聲明中公佈這項成就，並由美國 SIA 草擬 WSC 致《斯德哥爾摩公約》信函， 宣布 WSC 已停止 PFOA 的使用。

回顧先前外電報導歐盟擬嚴管PFAS相關化學品，對於該議題，半導體級材料服務商華立、崇越已分別指出估計影響有限。崇越指出，PFAS對公司影響不大，另外已有開發替代PFAS的產品。

華立也說，華立銷售的化學品未含有此成份，若未來客戶也來關心此議題，就會逐一請供應商提供所有品項的成份表。

台積電先前也早在2018年對外宣布公司全面替代全氟辛酸相關物質，應對長鏈PFAS中的全氟辛酸（Perfluorooctanoic Acid, PFOA）積極推行PFOA相關物質替代計畫，順利於民國107年第二季完成所有替代化學品驗證，並計畫該年度年底前全面替代所有廠區的PFOA相關物質。當時台積電在ESG電子報也指出，目前世界各國包括台灣在內均已立法管制PFOS、PFOA及其相關物質，台積公司亦採取積極防範作為。