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國研院半導體中心今對外公開「原子針尖斷層影像儀」(APT),是除台積電等業界外,首台由學術研究單位對外公開的設備,可提供高解析度、3D材料分析,突破半導體解析侷限,國科會希望藉由建立領域專家系統與研究服務平台平台,加速高階技術人才培育與半導體物理突破。
國科會指出,台灣在次世代半導體開發持續推進,但隨著積體尺寸微縮化、材料異質化及結構立體化,對於分析技術也帶來挑戰,因此需要透過更先進的設備,才能夠從微觀視角進行分析。
國科會說明,原子針尖斷層影像儀(APT)解析度可達原子級,能夠解析材料或元件微觀區域的3D原子分布,就像醫院使用電腦斷層掃描人體,APT能夠清楚掃描半導體材料結構。
目前APT已經被應用在材料、元件、地質、生物等物質的微觀分析,也成為次世代半導體元件研發的關鍵技術,因此由國研院半導體中心、台灣大學、清華大學及陽明交大共同合作。
國科會表示,藉由公開原子針尖斷層影像儀並建立產學研合作研究平台,將對於台灣的半導體產業發展有所助益,更可擴展至多種前瞻應用材料,包含金屬鋼鐵材料、光電材料、能源材料等方向。
台大材料系教授顏鴻威表示,原子針尖斷層影像儀目前已經在台積電內部投入使用,而國研院半導體中心的設備,則可提供更多學界或業界作為研究使用,作為培育高階半導體人才,肩負台灣次世代半導體發展的關鍵。
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