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ASML 的部分 DUV 出口許可證遭撤銷 台股檢測股影響有限

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經濟日報 記者周克威/台北即時報導

美中科技戰持續延燒,半導體設備大廠ASML宣布,荷蘭政府近期撤銷部分DUV出口許可證,市場預期將重挫陸企想靠DUV設備延伸先進製程的計畫,而大型法人機構認為,此舉仍有利閎康(3587)與汎銓(6830)的中國MA檢測生意。

大型法人機構指出,目前ASML在售的浸潤式DUV微影設備主要有四大型號,包括TWINSCANNXT:2100i、NXT:2050i、NXT:2000i和NXT:1980Di,原先ASML TWINSCAN NXT:2100i、2050i、2000i雖在禁止之列,但拿到出口許可證後,仍可持續出口中國。

受益於中國客戶的積極提貨,ASML來自中國的營收占比由去年第2季的24%,倍增至第3季的46% ,而本次的最新禁令,荷蘭政府撤銷部分2023年NXT:2050i及NXT:2100i DUV微影系統的出口許可證,預期將影響AMSL對中國銷售額的15~20%。

形式上來看,中美貿易戰又再度緊縮對中國半導體發展,但實質上仍預留了一條精算過後的後路,雖然中高階DUV設備出口再度受限,但是中低階的NXT:2000i、1980系列仍可出口中國,目前中芯、長江存儲、華力集團等都有大量採用NXT:1980系列機種,NXT:1980系列仍可透過二至三次多重曝光,達到模擬7nm先進工藝。

雖此土法煉鋼方式在成本、良率、效能表現較差,換言之中國半導體自製的大趨勢並未因荷蘭政府的新聲明而改變,此舉仍有利閎康與汎銓的中國MA檢測生意。

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