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大陸上月搶購ASML設備 金額增十倍

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經濟日報 記者林宸誼、黃雅慧/綜合報導

在美國與荷蘭、日本的半導體設備出口禁令下,大陸去年底繼續加速囤貨。大陸海關數據顯示,僅2023年12月從荷蘭艾司摩爾(ASML)進口的曝光機設備金額高達11億美元,年增近1,000%,與11月相比增長也高達44.2%。整體來看,在2023年第4季,大陸從荷蘭ASML進口的曝光機總額達到了25.352億美元。

據業界分析,近幾個月來,大陸從荷蘭ASML進口的曝光機數量和進口額的激增,可能是ASML趕在許可證在2023年12月31日失效前匆忙出貨的結果。

ASML近期表示,深紫外線(DUV)曝光機產品在陸銷售去年創下新高後,預計因美國和荷蘭新出口限制措施,今年該公司對陸銷售將減少約10%至15%。

ASML財務總監Roger Dassen預計,今年將無法從荷蘭政府獲得許可,向大陸出口NXT:2000iNXT:2050i、NXT:2100i三個型號及後續先進浸沒式曝光機系統。他還指出,由於美國10月實施的直接限制措施,預計有少數工廠無法獲得較舊的NXT:1970i和NXT:1980i浸沒式工具的中國出口許可證。

財新網報導,NXT:1970i首次出貨是2013年,是2016年首次出貨的NXT:1980i的上一代產品,這項禁令意味著,部分中國晶圓廠只能從ASML購得2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號曝光機,遠落後目前最先進DUV曝光機NXT:2100i五代。然而Dassen預計,大陸對舊設備需求將保持「非常非常穩定」。

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