易發半導體檢測設備 提高晶圓良率

經濟日報 楊連基

國內上櫃設備大廠易發精機近年切入半導體檢測設備,不僅成功打入全球晶圓代工大廠的供應鏈,未來也將以半導體設備作為企業發展重點。

易發精機半導體事業部經理羅墉說明該公司的半導體產業布局。易發精機/提供

專精於半導體檢測設備的易發精機,以快速、非接觸的方式檢測晶圓表面缺陷,除了大幅減少所需時間,協助提高晶圓產量與良率外,更提供檢測相關設備的一系列解決方案,進而成為全球半導體業者的最佳策略夥伴。

易發精機半導體事業部經理羅墉表示,以往公司的兩大核心技術為壓合與貼合,產品線涵蓋面板、動力電池、半導體及隱形眼鏡醫療器材等,近期對於半導體產業的布局,已經成為驅動該公司成長的另一個重要引擎。

羅墉指出,相較國外進口設備,在地廠商能更快速提供服務,這也是該公司的優勢之一。該公司的「全自動晶圓檢查機(Wafer Auto Inspection Machine)」就是一例,不但是台灣在地開發製造,可降低設備成本,此檢測機台還可將檢測結果反饋回生產製程,找出製程中造成晶片瑕疵的可能原因,以改進製程而提高產品良率與品管效能。也就是說,易發精機能夠協助客戶以數據進行生產管理,進而升級為智慧製造。

羅墉表示,「先進製程開發」及「自主供應鏈建立」是台灣半導體設備相關產業未來成長的兩大動力來源。該公司將把握這兩項契機,透過整合自動化、AOI及AI等跨領域核心能力,持續提供客戶智能化及客製化產品,以成為半導體業者重要的合作夥伴。同時,將國產設備帶往世界各地,落實「產業設備國產化,設備產業國際化」的公司創立宗旨。

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