台積電設備復原率逾80% 南科18廠拚今全部復原
台積電(2330)晚間發布0403花蓮大地震後最新進度,在公司動員所有資源下,所有晶圓廠設備復原率已超過80%,其中位於南科的晶圓18廠預估今晚可可完全復原。
台積電表示,4月3日早晨台灣經芮氏規模7.2地震(為過去25年來最強)。新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度級為5,台中和台南科學園區的最大震度級則為4。
台積電在台灣的晶圓廠工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區在第一時間進行疏散,人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位,詳細影響正在確認中。
台積電3日也立即宣布台灣各地工地停工,4日經建廠工地狀況檢查初步正常,經確認安全後已於4日恢復施工。
台積電坦承這次花蓮大地震,確實造成產線不少機台預防性停機,但公司在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備。
基於台積公司在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備。在4月3日地震發生後僅10小時內,晶圓廠設備的復原率超過70%,新建的晶圓廠(如晶圓十八廠)的復原率超過80%。經過4日動員所有資源復機,晶圓廠設備的復原率更已超過80%,新建的晶圓廠(如晶圓十八廠)預計在4日晚間皆可完全復原。
雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產,主要機台包含所有極紫外光(EUV)曝光機皆無受損,而在處於震幅較大地區的部分生產線,預計需要較長的時間調整校正以回復自動化生產。
台積電強調,已有資源到位以加速達到全面復原,且持續復工中,公司也與客戶保持密切溝通。台積電將繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。
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