台積電:地震後10小時內晶圓廠設備復原率逾70% EUV無損

經濟日報 記者尹慧中/台北即時報導
台積電。 圖/聯合報系資料照片

各界關注4月3日花蓮地震影響,對此,台積電(2330)指出,基於台積公司在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力,並定期進行安全演習以確保萬全準備。在4月3日地震發生後僅10小時內,晶圓廠設備的復原率已超過70%,新建的晶圓廠(如晶圓十八廠)的復原率更已超過80%。雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產,主要機台包含所有極紫外(EUV)微影設備皆無受損。

台積電昨深夜也指出,台積公司已有資源到位以加速達到全面復原,且已在持續復工中,我們也與客戶保持密切溝通。我們將繼續密切監控並適時與我們的客戶直接溝通相關影響。

台灣3日早上經歷芮氏規模7.2地震(過去25年來最強)。新竹、龍潭和竹南等科學園區的最大震度為5級 ,台中和台南科學園區的最大震度則為4級。

台積電昨也指出,公司在台灣的晶圓廠工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區在第一時間進行疏散,人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位,詳細影響正在確認中。

另台積公司建廠工地狀況檢查初步正常,因安全考量已決定今日台灣各地工地停工,待檢查後再行施工。


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