首台 High-NA EUV 曝光機交貨 英特爾明年試產新製程
艾司摩爾(ASML)在社群媒體上貼出,第一台高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)曝光機台已經送貨到英特爾(Intel),代表英特爾18A機台已經正式到位,明年第1季將可望順利進入試產,四年五節點製程計畫將持續執行。
ASML於昨日晚間在社群媒體中貼出 High-NA EUV 曝光機台已經送至英特爾,並貼出與公司員工的合影。據了解,High-NA EUV 曝光機將會被用在英特爾18A製程當中,該機台一台造價至少新台幣50億元以上,大小等同於一台貨櫃車大小。
英特爾接收該批設備後,預期將可望在明年第1季開始試產18A製程,最快將於明年下半年進入量產。業界指出,英特爾18A製程已經掌握數個電信及網通客戶,屆時將可望成為支撐英特爾晶圓代工事業未來幾年營運動能。
據了解,英特爾在收到最新的 High-NA EUV 曝光機台後,代表先前喊出的四年五節點計畫將持續推進。英特爾所謂四年五節點計畫,包含了先前的 Intel 7、Intel 4、Intel,以及後續的20A、18A製程,但由於歐美的高昂人力成本,將使客戶投片成本大幅增加,因此未來英特爾晶圓代工事業營運維持順利,外界都在抱持觀望態度。
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