運送台積晶圓天車 一天可繞地球20圈
半導體晶圓製造製程繁複,但每一盒裝滿25片12吋晶圓承載盒重約10公斤,無法靠人力搬運至每一道製程工作區,更何況每天要處理成千上百盒晶圓。在晶圓廠天花板運行的「天車」扮演承載晶圓至每一道製程完成處理的關鍵載具,光是台積電(2330)廠區內的天車一天行走距離就可以繞地球20圈。
少了「天車」協助承載晶圓,台積電、聯電、三星等大廠的晶圓廠生產等於要停擺,由於晶圓價值高,對天車的穩定度及可靠度也要求極高,一旦發生塞車、墜落事故,單一損失動輒就數千萬甚至數億元,不容小覷。
根據台積電統計,2021年時,台積電的晶圓廠內天車一天行走的總距離就可繞地球20圈。這個距離大約等於從台灣最北端至最南端走2,000次。隨著新廠陸續加入營運,台積電天車的數量增加,未來累積的距離將愈來愈長。
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