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工研院看優勢/邑流微測善用AI 突破技術困境

2019-09-28 22:45經濟日報 記者 李珣瑛
半導體
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科技日新月異,半導體製程面臨不斷微小化的挑戰,如何應用最新的人工智慧、物聯網與大數據等技術,是提升半導體先進製程效率,並讓高科技產業持續勝出的關鍵。 工研院量測中心執行長林增耀表示,工研院看準半導體產業物料檢測需求,突破既有液態檢測模式的技術困境,發展奈米級液態材料觀測技術,2017年衍生具獨家檢測技術專利的新創公司—邑流微測(FlowVIEW Tek),其技術除可運用在半導體先進製程檢測,也可廣泛應用於生技醫藥及能源電池產業。

邑流微測董事長李信宏表示,邑流微測擁有晶片製程、微流體系統與獨家影像庫的海量資料,搭配可達7奈米解析能力的獨家檢測技術,在開創奈米液態材料檢測的過程中如虎添翼,而邑流微測以自主研發AI分析軟體,有效進行產線上原料影像辨識以及汙染物預判,協助半導體先進製程產業進行更深更廣的技術開發,日、韓、德等國之材料產業廠商已成為其客戶。

今年初,邑流微測與iST宜特科技合作,建立先端液態材料奈米檢測服務實驗室,致力發展更精密的檢驗技術,期望藉由更快速準確的實驗結果,協助客戶節省研發的人力與時間成本,在提高產線效率與降低原物料浪費的同時,也使液態材料的選擇更加廣泛。為維護獨家技術,邑流微測已於台灣、日本、中國、美國等國家申請多項原創型專利,建立完整專利壁壘。

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