中芯DUV設備採購交期延長一年 業界估成熟製程擴充放緩

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中芯國際3日公告，延長與和艾司摩爾（ASML）公司12億美元機台採購合約期限，這筆設備採購金額逾12億美元，由於未說明何種設備讓市場眾說紛紜，如今艾司摩爾公告據訊息確認不包含EUV設備，僅是DUV設備採購交期延長。讓業界解讀，中芯不僅先進製程受阻礙，連成熟製程的擴充也將因交期延後放緩。

延伸閱讀》不含EUV！艾司摩爾延長中芯國際銷售合約到今年底

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中芯昨晚間公告曖昧不明，引發外界臆測，不過依據艾司摩爾最新公告說明，主要是中芯原先至去年底到期的DUV設備採購協議，將採購協議期限延長到今年底。

中芯原定12億美元採購DUV設備原先需要在去年3月16日至2021年3月2日之前完成，如今和艾司摩爾採購DUV設備協議從採購期限展延至今年年底，讓外界認為，中芯採購DUV設備交期已較原先延後，因此成熟製程擴充估也將放緩。

中芯昨日公告未說明是何種設備採購期限延後一年，業界原先認為應該是受到出口管制的先進製程所需EUV設備遭遇障礙，而在艾司摩爾補充公告後，進一步確認是DUV設備交期將延後。

由於美國出口管制法規更新後，本身主要是限制中芯取得EUV設備能力，原本就未限制到成熟製程所需DUV設備（源自美國成分占比較低）。而如今艾司摩爾公告說明反映中芯DUV設備採購期限延長，讓業界也解讀，中芯不僅先進製程受阻礙，若僅能取得DUV設備製程且交期延長，也將影響成熟製程的擴充。

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