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台科大與科技廠產學合作 降低半導體耗材成本

2019-10-05 11:29聯合報 記者潘乃欣╱即時報導

台灣科技大學宣布與大量科技合作,針對半導體製程的耗材「拋光墊」,開發一套智慧動態監控系統。這套系統能即時掃描並分析拋光墊的表面形貌,精準監測拋光墊壽命,掌握耗材的最大化使用時間,進而降低成本,提高晶圓製程的效率。

台科大校長廖慶榮表示,大量科技在電路板工具機產業中深耕多年,並跨足光電產業與半導體產業。台科大機械系陳炤彰在半導體研磨拋光技術研究有成,透過台科大國際產學聯盟搓合產學單位,已取得經濟部技術處產學研價值創造計畫的支持。他樂見產學研三方資源整合,共同提升台灣半導體產業競爭力。

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陳炤彰表示,台灣是全球最大半導體材料消費地區。每年拋光墊耗材成本高達80億台幣,且有逐年增加趨勢。這套智慧監控系統可協助台灣半導體廠降低約10%耗材成本,並提高5%產能,大幅提升台灣半導體設備產業的競爭力。

大量科技董事長科技特助、本次合作計畫共同主持人林建憲說,過去缺乏即時監測拋光墊壽命的技術,大多憑經驗粗略判斷是否要更換拋光墊,造成耗材成本浪費。台科大與大量科技合作開發智慧監控系統,目標是即時掃描並分析拋光墊的表面形貌,達到監測拋光墊使用壽命、接觸面積以及拋光液儲存能力,進而優化使用時間,減少拋光墊更換次數。

陳炤彰說,台科大機械系與大量科技合作模式,是由台科大提供技術開發拋光墊分析軟體,大量科技進行硬體設計與系統整合,共同打造拋光墊智慧動態監控系統。大量科技也成立了新事業部門,目前已有參與計畫的台科大機械所畢業生到大量科技任職。

台科大機械所碩士班畢業生陳俊臣目前在大量科技擔任工程師,在學期間就透過產學合作計畫,參與拋光墊檢測研究。他表示,過去在學校參與研究的經驗,讓他對半導體領域有深入了解,針對拋光墊分析軟體與演算法的專業能力也大幅提升。畢業後進到大量科技半導體事業部工作,工作內容也是延續先前的研究,快速與業界接軌。

台灣科技大學與大量科技合作,針對半導體製程的耗材「拋光墊」,開發智慧動態監控系統...
台灣科技大學與大量科技合作,針對半導體製程的耗材「拋光墊」,開發智慧動態監控系統來降低成本,提高晶圓製程的效率。圖/台科大提供

科技 半導體 台科大
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