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準力晶瓷加工機 脆硬材料磨削利器

2021-07-28 10:36經濟日報 戴辰

隨著5G、電動車及新能源發展,傳統矽晶元已無法滿足功率半導體高端需求,碳化矽(SiC)因兼具高壓、高頻和高效率的優勢,備受市場期待,但其硬度達新莫氏硬度13,僅次於鑽石,加工極其不易。

準力機械董事長林馨堂表示,新推出的JL-300 SCGII可滿足脆硬材料磨削加工...
準力機械董事長林馨堂表示,新推出的JL-300 SCGII可滿足脆硬材料磨削加工需求。戴辰/攝影

準力機械公司專精於各式平面磨床研發製造,為滿足業者對脆硬材料磨削加工需求,推出兩款可用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃及寶石等材料加工的晶瓷加工機JL-200 SCG(可加工8吋晶圓),JL-300 SCGII(可加工12吋晶圓),該機種開發構想是利用立式磨床加工原理,將鑽石砂輪固定於氣靜壓主軸,針對表面精度及平面度要求極高的硬脆材料,進行立式磨削加工。

推薦

準力機械推出的JL-300SCGII型晶瓷加工機,加工精度TTV 3μm,表面粗度Ra0.12μm(矽晶圓)。該機具多項特性如,機體結構採高剛性焊接成型,可提供高精度與高準度研磨加工。中心出水內藏式馬達氣靜壓主軸,具高速、夀命長、低噪音、低振動及無過熱特性,主軸轉速Min1000~Max3000rpm,伺服馬達功率18.5KW。

氣靜壓旋轉工作台,直徑為300mm,由直驅馬達驅動,偏擺度極低,進給解析度為0.1μm,工作台最大轉速為500rpm,最大承載重量為15kg。Z軸行程200mm,進給解析度為0.1μm,進給率每分鐘10μm,最大快移送速度為300mm/min。此外,尚配備多項關鍵零組件如中心出水式陶瓷夾頭、C0級滾珠螺桿、SP級高精度線軌,可輕易達成高效率超精密研磨加工。

準力公司電話(04)2534-9475,網址:https://www.joenlih.com/。

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