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準力晶瓷加工機 脆硬材料加工利器

2020-11-12 13:17經濟日報 戴辰
半導體
  • 矽晶圓
  • 機械

隨著5G、電動車及新能源發展,傳統矽晶元已無法滿足功率半導體高端需求,碳化矽(SiC)因兼具高壓、高頻和高效率的優勢,因而備受市場期待,然其硬度達新莫氏硬度13,僅次於鑽石,加工極其不易。

準力機械董事長林馨堂表示,新推出的JL-300 SCGII可滿足脆硬材料磨削加工...
準力機械董事長林馨堂表示,新推出的JL-300 SCGII可滿足脆硬材料磨削加工需求。 戴辰/攝影

準力機械專精於各式平面磨床研發製造,為滿足業者對脆硬材料磨削加工需求,推出兩款可用於晶圓、陶瓷、石英、玻璃及寶石等材料加工的晶瓷加工機JL-200 SCG(可加工8吋晶圓),JL-300 SCGII(可加工12吋晶圓),該機種開發構想是利用立式磨床加工原理,將鑽石砂輪固定於氣靜壓主軸,針對表面精度及平面度要求極高的硬脆材料,進行立式磨削加工。

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矽晶圓半導體製程中最明顯的例子就是晶圓背磨製程,它決定著晶片級封裝和系統級封裝中的最小可能封裝尺寸。一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度,唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作台上的晶圓才能達成。

準力機械推出的JL-300 SCGII型晶瓷加工機,加工精度TTV 3μm,表面粗度Ra0.12μm(矽晶圓)。該機具多項特性如,機體結構採高剛性焊接成型,可提供高精度與高準度研磨加工。中心出水內藏式馬達氣靜壓主軸,具高速、夀命長、低噪音、低振動及無過熱特性,主軸轉速Min1000~Max3000rpm,伺服馬達功率18.5KW。

氣靜壓旋轉工作台,直徑為300mm,由直驅馬達驅動,偏擺度極低,進給解析度為0.1μm,工作台最大轉速為500rpm,最大承載重量為15kg。Z軸行程200mm,進給解析度為0.1μm,進給率每分鐘10μm,最大快移送速度為300mm/min。此外,尚配備多項關鍵零組件如中心出水式陶瓷夾頭、C0級滾珠螺桿、SP級高精度線軌,可輕易達成高效率超精密研磨加工。準力公司電話(04)2534-9475,網址:https://www.joenlih.com/

半導體 矽晶圓 機械
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