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上銀科技晶圓設備移載模組 接單頻傳

2018-08-03 20:28經濟日報 戴辰

上銀科技經理葉聰憲說明,新開發的晶圓設備移載模組(EFEM)可滿足客戶不同需求,...
上銀科技經理葉聰憲說明,新開發的晶圓設備移載模組(EFEM)可滿足客戶不同需求,還可確保生產設備和製程更有效率及競爭力。 戴辰/攝影
上銀科技參加2018台北國際自動化展,展出與大銀微系統合作開發的晶圓設備移載模組及可搭配暫存MINI倉儲的晶舟盒移載系統,展出三天下來,買家詢問不斷,接單更是頻傳。

上銀科技經理葉聰憲表示,新開發的晶圓設備移載模組(EFEM)具多項特色,使用真空吸取晶圓、支援RS-232-Ethernet通訊、簡易人機介面,可靈活設定運送規則、內建的巨集指令,使用者可輕鬆操作手臂,關鍵零組件如,伺服馬達、直驅馬達、線性滑軌、滾珠螺桿及單軸機器人均為自製品。

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葉聰憲說明,該設備移載模組,為半導體晶圓移載系統,透過整合潔淨機械手臂,可實現低微粒塵產生。採高整合式設計,不僅可對應客戶不同需求,還可確保生產設備和製程更有效率及競爭力。此外,還可選配Wafer ID Reader、RFID、尋邊器、Load Port等周邊模組,並依產品規格進行系統規畫。

上銀科技經理葉聰憲解說,可搭配暫存MINI倉儲的晶舟盒移載系統運作方式。 戴辰/...
上銀科技經理葉聰憲解說,可搭配暫存MINI倉儲的晶舟盒移載系統運作方式。 戴辰/攝影

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