德揚曝光機 每分鐘曝光6片4吋晶圓

曝光機是電子科技業常用的設備，半導體晶圓廠是最高階的應用，在二極體、陶瓷基板及被動元件領域相對成熟。德揚光電成立近20年，為國內曝光機專業廠，過去以二極體、陶瓷基板及被動元件市場為主力，面對美德日韓及國內同業競爭，開發功能齊全、具價格優勢的高CP值機型，協助客戶應對關稅及匯率等經營挑戰。

德揚光電的曝光機適合1um精度，每分鐘可曝光6片4吋晶圓；相較ASML用於半導體先進製程的EUV高階曝光機，總經理朱仁亮喻為「火箭」等級，但幽默虛稱德揚的曝光機級數還在「腳踏車」階段，層次差很多。

事實上，即使曝光精度不高的曝光機，也不是一般人都能做，具備曝光機整機設計能力的廠商並不多。德揚擁有光源自主能力，因此在供應鏈占有重要地位。以曝光機的汞燈光源為例，在環保趨勢下，終將被UVLED取代，德揚自主研發UVLED光源，成本也壓低到售價幾乎與傳統汞燈相同，是相當難得的成就。

UVLED光源的市場滲透速度相當緩慢。朱仁亮解釋，光源改變會牽動製程參數的設定，除非不得已，多數業者大多沿用傳統光源。電價上漲以及愈來愈沈重的ESG壓力，將驅使現況被迫改變，提前因應可減少陳痛，並提高競爭力。

德揚前年推出拋平機，刀盤採用鑽石刀片，加工精度達微米等級，用於陶瓷基板及晶圓片鍍銅後的整平加工，是CMP的前一道製程，擠進後段製程設備供應鏈。拋平機是客製化設備，可附加自動化傳送與量測組件，提升產量，已交機數十台。業界大廠日商Disco的同類型設備，精度性能更勝一籌，但售價千萬元起跳，數倍的價差凸顯德揚光電產品的高CP值。

德揚專長專用機設計製造，經常接獲新客戶詢問及下單，曝光機為主力業務。拜中國電動車產業大爆發之賜，生產供不應求，營收登頂；化合物半導體後市看好，雖非奈米級製程，規格為微米、高電流、高電壓，隨著電動車及新產業發展，有機會再現一波榮景。交通載具電動化的無線充電，也是未來明星產業。

德揚電話（03）377-6065。