睿普工程Kinetics 半導體業最佳靠山

臺灣是半導體製造重鎮，不僅在全球半導體產業中扮演重要角色，更掌握著先進製程和代工的關鍵技術與產能。為協助半導體製造業減少製程風險，並能降低生產成本，全球分析儀系統與解決方案領先的睿普工程公司（Kinetics Technology Corp.），運用創立25年來豐沛的業界經驗及開發能力，不斷創新研發，成功開發多款設備，有效協助半導體製造業強化國際競爭力。

其中，「LNI HG-SB Hydrogen Generator」負壓供氣型氫氣產生器，不僅榮獲SEMI S2／S8半導體設備安全認證，且可穩定輸出高純度氫氣，每分鐘可提供最高600ml、純度達99.9999%，目前已協助某半導體大廠每年省下近千萬元氫氣負壓鋼瓶的費用。

另，針對水質監測有「MIC-9000模組化線上離子層析儀」堪稱是良率的守門員，透過離子監測確保UPW（超純水）的品質，有效且大幅避免任何微量雜質所造成的晶圓缺陷，並可在廢水與排放水監測方面把關監測特殊化學品殘留。而「MGA-9000-DO水中溶氧分析儀」則是針對超純水中溶氧雜質監測，確保產品品質。在SWAS水質分析中扮演腐蝕控制的角色，提高效率，以延長設備壽命。

此外，睿普工程台灣獨家代理義大利知名水質分析儀品牌「3S ANALYZERS S.r.l.」與美國「ECD ANALYZERS LLC.」，提供「廢（污）水自動監測（視）設施（CWMS）」、「蒸汽與水線上分析系統（SWAS）」等水質分析方案。包括全系列線上水質分析儀及水質分析系統配件，並將這些先進且穩定的分析技術與睿普的系統整合，提供更高效、智能的一站式自動化解決方案。

在氣體監測部分，則有專為測定環境空氣和排放煙囪中甲烷（CH4）和非甲烷（Non-CH4） 總碳氫化合物含量而設計的「NMHC-9000甲烷、非甲烷、總碳氫化合物和BTEX分析」，以及榮獲中華民國發明專利及勞動部TS防爆型式認證，特別為測量管道和煙囪中的排放尾氣或製程氣體的流速和體積流量而設計的「 MVM-9000模組化差壓式流速計」。

睿普Kinetics執行長張鍾祥表示，睿普Kinetics身為台灣領先的線上分析儀器系統整合商，導入科技、專業、美學，以卓越團隊來面對各種艱難挑戰，不僅協助客戶解決各種難題，無論是半導體、石化、煉油、電廠、水泥、鋼鐵、紙業、農業、汽車、天然氣、研究機構等，都能提供製程、環保及工安分析儀的解決方案。

LNI HG-SB

壓縮氫氣瓶理想替代方案

睿普工程公司（Kinetics）為因應半導體業者針對製程氫氣的需求，提供最佳的解決方案，運用累積20多年的產業經驗及開發能力，成功開發「LNI HG-SB Hydrogen Generator」負壓供氣型氫氣產生器，並獲全球知名半導體大廠採用，不僅可讓製程更順利，且每年可省下千萬元的氫氣負壓鋼瓶費用。

「LNI HG-SB」是專為離子注入等半導體製程應用而設計，是傳統壓縮氫氣瓶的理想且更安全的替代方案，擁有超高純度氫氣供應、全方位安全設計、智慧模組化操作等優勢。

其採用高分子聚合物電解質薄膜（PEM）技術，可持續輸送每分鐘最高600ml、純度達99.9999%高純度氫氣，滿足嚴苛的製程要求。且榮獲半導體設備SEMI S2/S8 認證，其負壓輸出為100-600 torr且可因應需求調整，負壓端皆以VCR接頭與元件銜接，氦氣洩漏率≤1 x 10-8 mbar.l/s，特別適用於半導體製程（例如離子佈植機台）應用，且從源頭上就確保最高的運作安全性。

此外，還具備自動補水、靜態乾燥、氫氣偵測等多重安全機制，並支援RS485、USB及選配無線通訊。採用模組化設計，配備觸控螢幕介面，安裝簡易、操作直覺，在嚴苛的工作環境中提高效率，且可簡化維護並確保長期可靠性能，是取代負壓氫氣鋼瓶的最佳理想選擇。

MIC-9000

晶圓良率守門員

在半導體製程中，超純水（UPW）是不可或缺的，任何微量雜質都可能造成晶圓缺陷，因此超純水的離子監測堪稱是良率的守門員，更是確保品質的重要關鍵。

MIC-9000（Modular Ion Chromatography）模組化線上離子層析儀，是一款高階離子層析儀，其具有極致的靈活性，無論面臨各種複雜的挑戰，都能輕鬆應對，它不僅是晶圓良率的最佳守門員，並可在廢水與排放水監測嚴格把關，可監測任何特殊化學品的殘留。

此外，環境部最新修正「半導體製造業空氣污染管制及排放標準」，要求煙道排放需監測硝酸、鹽酸、磷酸、氫氟酸、硫酸等空氣污染物，MIC-9000搭配MARGA（Monitor for AeRosols and Gases in ambient Air）線上氣體與氣溶膠分析系統，有效解決需連續、自動化監測半導體業煙道排放中酸性氣體，成為完美解決方案。