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優勝Air-Win高效空氣清化處理器 VOCs去除率達99.9 %

本文共644字

經濟日報 楊連基

揮發性有機氣體 (Volatile Organic Compounds, VOCs) 是台灣地區常見空氣污染物之一﹔其中,半導體與光電液晶顯示器等產業也是主要來源之一。優勝碳捕捉科技(UWin Carbon Capture Tech. Inc.)針對揮發性有機氣體去除技術投入研發,目前針對半導體產業空氣污染開發安全、環保的吸收劑與Air-Win高質傳反應器,可將半導體產業常使用的有機溶劑的二甲基亞碸(DMSO)、四甲基氫氧化銨(TMAH)、氮-甲基四氫吡咯酮(NMP)、異丙醇(IPA)等VOCs有效去除,且去除率達99.9 %。

優勝碳捕捉科技的Air-Win高效空氣清化處理器,可去除半導體產業的有害VOCs...
優勝碳捕捉科技的Air-Win高效空氣清化處理器,可去除半導體產業的有害VOCs。 優勝碳捕捉科技/提供

優勝碳捕捉科技董事長許景翔表示,半導體產業晶圓在的製程中,包括洗淨、光阻塗佈、微影曝光、顯影及光阻剝離等步驟,都會大量應用有機溶劑,而這些有機溶劑都會產生VOCs排放,這些VOCs除具有毒性外,若排放到大氣中,將會與氮氧化物(NOx)產生一連串的光化學反應,成為空氣污染源,若不加以控制,對環境將帶來相當重大的危害。

該公司針對VOCs空污控制,開發有效的處理技術,除針對半導體產業使用的去光阻劑、顯影劑等,可有效去除VOCs外,對於清洗過程使用的異丙醇、丙酮、甲苯、二甲苯等,已有非常顯著的處理效果。

優勝碳捕捉科技永續長古濙瑜亦表示,優勝集團核心精神以開發安全、低碳、環保的綠色製程﹔其中,優勝碳捕捉更以落實企業永續而創立,核心技術開發以空氣污染防治與碳捕捉技術,目前已推廣至產業界實際應用,落實對環境污染最少的防治技術,大幅提升製程與自然環境的安全性。

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