德揚光電曝光機 輸出亞洲

高階半導體曝光機成為大國科技戰的管制品，德揚光電是台灣為數不多的曝光機專業廠，主攻二極體、觸控面板及被動元件業的黃光製程，市場指名定高。在同業屈指可數下，德揚20多年來在國內市場打下一片天，也有出口亞洲的實績。

德揚光電總經理朱仁亮表示，德揚的曝光機適合1um精度方業，每分鐘可曝光6片4吋晶圓；相較ASML用於半導體先進製程的EUV高階曝光機，朱仁亮喻為「火箭」等級，但幽默虛稱德揚的曝光機級數還在「腳踏車」階段，層次差很多。

事實上，即使是曝光精度不高的曝光機，也不是一般人都能做，尤其，具備曝光機整機設計能力的廠商並不多。德揚擁有光源自主能力，因此在供應鏈占有重要地位。以曝光機的汞燈光源為例，在環保趨勢下，終將被 UVLED取代，德揚自主研發UV LED光源，成本也壓低到售價幾乎與傳統汞燈相同，是相當難得的成就。

目前UVLED光源的市場滲透速度相當緩慢。朱仁亮解釋，光源改變會牽動製程參數的設定，除非不得已，多數業者大多沿用傳統光源。4月電價上漲以及愈來愈沈重的ESG壓力，將驅使現況被迫改變，提前因應可減少陳痛，並提高競爭力。

朱仁亮樂觀認為，曝光機的需求一直在，不會消失。隨著產品邁向更高規，有賴更先進的技術設備來支援，在環保及減碳要求下，設備商不斷改良產品，也迫使製造工廠的設備汰舊換新。電話(03)377-6065。