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德揚光電曝光機 自主機構設計及UV LED曝光源

本文共597字

經濟日報 翁永全

黃光製程潛藏公安的風險,傳統半導體廠發生火災意外的事故不只一次,不少成立4、50年的老廠,因為祝融之災而重購設備,在考量機台性價比下,為德揚光電帶來意外的訂單。

德揚光電專注在曝光機超過20年,主要市場為二極體及主、被動晶片元件。總經理朱仁亮表示,曝光機可生成精細電路,用於PCB到高階半導體製造;隨著不同產業,產品有很多等級,價格也有天壤之別。

德揚光電總經理朱仁亮。翁永全/攝影
德揚光電總經理朱仁亮。翁永全/攝影

多年來,德揚光電的曝光機獲得科技電子業採用,數量相當可觀。朱仁亮表示,德揚推出多款光罩對準曝光機,是黃光製程的重要設備,以完整的產品線對應二極體及被動元件產業需求。手動及半自動曝光機也獲得學校、研究單位好評使用。

朱仁亮表示,德揚以優越的UV曝光源的光學路徑設計,加上採用優良UV鏡及透鏡元件,曝光機精度達到1um。德揚握有機構設計能力,以自製UV LED曝光源取代汞燈曝光源,具有省能源、無汞特點。與汞燈曝光源設計相近,以透鏡組取代橢圓鏡收光,保留均勻化與平行光設計、氣冷散熱性佳。

德揚光電專注曝光機研發生產超過20年,獲得二極體及主、被動晶片業者採用。翁永全/...
德揚光電專注曝光機研發生產超過20年,獲得二極體及主、被動晶片業者採用。翁永全/攝影

線路製造工藝有網印及曝光等技術,曝光機是大規模製造精細集成電路的關鍵設備,廣泛用於微機電、光電、二極體及被動元件領域,在高階半導體的曝光機,ASML為領頭羊,售價一億美元起跳。

傳統電子業界大量採用全自動、高產量曝光機、全自動雙面曝光機等,德揚的機台售價不到千萬元,每分鐘最高產能達6片基板,與售價相近的其他廠牌產能高出2倍以上。電話(03)377-6065。(翁永全)

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