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聯毅 半導體技術一條龍服務

本文共879字

經濟日報 翁永全

晶圓廠要24小時運作不中斷,需要強大的維修團隊為後盾。聯毅科技(Robust Technology)為半導體技術服務專業廠,專攻機械手臂維修及半導體設備優化改機,可維修200多種手臂機型,備有大量零件庫存,產品種類及數量均遙遙領先同業。

總經理林仲章表示,聯毅維修工廠位於竹北及台南,美國、新加坡及中國分公司也設有在地維修中心,加上歐日韓經銷商,生產行銷及服務布局完整,不僅服務台灣半導體大廠,歐美日韓的維修訂單也相當可觀。

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聯毅的維修能量強,平均維修時間21天,急件可縮短至7天,機械手臂電路板、馬達及各種傳動組件都可處理。晶圓廠新手的比重增多,聯毅以近20年製程設備經驗,協助客戶上下機、排除軟硬體棘手問題,甚至為工程師解決製程問題,一條龍服務很受歡迎。

聯毅科技總經理林仲章。翁永全/攝影
聯毅科技總經理林仲章。翁永全/攝影

聯毅強大的機電能力,從手臂維修衍生多元服務,推出應用在手臂以避免無預警停機的故障預警系統。林仲章說,臨時失效導致前後段製程晶片損壞,加上耗材及停產,損失可能高達數百萬,預警系統廣泛使用,逐漸成為標配。聯毅為製程設備客製設計外掛式監控系統,讓操作更加完善,優化監控分析。林仲章坦言,這項服務利潤不高,但確實幫了客戶大忙也提升了企業形象。

聯毅發展代理業務也相當成功,引進用在曝光機的微量氣體偵測監控系統,以及晶圓抓取PAD防止滑片。

沉積、蝕刻及擴散等黃光製程,會使用大量光阻液及特用化學品,成分中的甲烷、氨類等敏感物質會形成二氧化硫、醋酸及鹽類,有些是具危險性物質,並損及良率。美國PICARRO公司為曝光機黃光製程推出微量氣體偵測監控系統,避免因微量的有機IPA、Acetone、PGMEA、D6 Siloxane及無機NH3、HF、HCL、SO2氣體濃度影響良率,甚至造成整批晶圓報廢。聯毅2020年引進後,持續擴大滲透率,業界記取教訓,避免再度發生損失上億元的憾事。

聯毅去年引進晶圓抓取PAD防止滑片,結構中高達1億個納米尺寸墊子,具備超高摩擦係數,機械手臂在快速作業時以高抓取率降低滑片及晶圓報廢率,提高產能。傳統O型環使用年限3個月,PAD壽命超過3年,且耐高溫,不會有聚合物沉積,已導入12吋廠。

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