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2021台灣持續改善競賽 台積電晶圓八廠產能卓越圈獲金塔5星獎

本文共375字

經濟日報 陳華焜

隨著物聯網、智能穿戴裝置及車用電子相關產品需求增加,全球八吋晶圓產能供不應求。

台積電晶圓八廠產能卓越圈全體圈員。 中衛/提供
台積電晶圓八廠產能卓越圈全體圈員。 中衛/提供

台積電八廠為八吋晶片主要生產基地之一,包括電源管理、影像感測及車用晶片等多樣性產品,如何突破現有機台極限且創造更多產能是廠區持續努力與改善的方向。針對目前晶圓生產流程解析,氧化物沉積製程具有多道次與重複性高的特點,台積電八廠產能卓越圈將本次主題設為「產能超前部署,提升氧化物沉積生產力」。

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本圈透過工程師實地觀察、標竿學習、搭配科學理論輔佐驗證,成功找出產能提升之創意對策,包括「新下貨晶舟組合」、「沉積、傳送同步邏輯」、「類光阻製程特氣改機」、「擴充生產程式配置」,一年內有效提升氧化物沉積製程8%產能,並藉由即時監控系統確保生產品質,創造出近八千萬元的改善效益。

台積電八廠未來將持續秉持誠信正直、承諾、創新與客戶信任之理念,不斷精進以創造更高的晶圓產能,滿足客戶的需求。

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