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經濟周報:面板能熱多久? 睽違3年的群創法說見分曉 19:20

台灣持續改善競賽 台積電晶圓15B廠威熊圈獲金塔5星獎

2021-01-19 18:39經濟日報 陳華焜

台積電秉持「技術領先、製造卓越」專精於專業積體電路製造服務,隨著製程世代演進,邏輯電路技術挑戰尺寸極限,晶圓良率的缺陷檢測難度同步提高。若要比擬晶圓良率的缺陷檢測難度,猶如自外太空望向臺灣,在街道上找尋出掉落的一枚一元硬幣,因此,精進防守機制與檢測能量勢在必行。

台積電晶圓15B廠威熊圈,透過AI精進品質與產能,榮獲台灣持續改善競賽特別組智能...
台積電晶圓15B廠威熊圈,透過AI精進品質與產能,榮獲台灣持續改善競賽特別組智能應用類金塔5星獎。 中衛/提供

全年無休的晶圓廠中,如何快速且精準早一步發現產線上的異常機台,並及時正確改善,成為晶圓製造良率精進的最大關鍵。但如前所言,缺陷之於晶圓尺寸的差距如此巨大,缺陷的訊號自然相對微弱,易導致漏逮情況發生。今年度晶圓15B廠威熊圈憑藉著2015年台積電善美圈「人工轉自動化」奠定的基礎,持續精進改善,選定主題為「智能化」晶圓檢測防守系統。

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晶圓缺陷檢測猶如歌手萬人海選,首先眾多選手上網登錄選手資格,主辦單位再透過設定年齡、身高、體重…等條件,選出第一階段的目標選手,以上則如同缺陷檢測的「掃片」與「選片」;之後透過層層的競賽與評審的各項評比審視,給出最終排名,此則視同缺陷檢測的「看片」與「辨片」。唯獨不同的是,歌手海選中涉及人工且耗時相關程序,台積電晶圓15B廠威熊圈則是以「大數據、機器學習、影像學習、深度學習」的尖端人工智慧方法來執行晶圓之選片派貨、取樣、校準與精準辨識,透過智能化的分數加乘,成功提升檢測產能二倍以上。

威熊圈圈長暨良率精進部門主管劉俊秀:感謝台灣持續改善競賽給予威熊圈智能應用類金塔獎的肯定,晶圓先進製程不僅僅仰賴眾多工程師的專業背景,而且需要更多的智能化方法來協助管理決策,藉此改善專案也成功申請多項專利及營業秘密,並於先進半導體技術製造會議 (ASMC)發表智能技術應用,AI理論與半導體實務結合成功,確實獲益良多。

台積電晶圓15B廠廠長蘇斌嘉:團隊秉持創新改善精神和結合人工智慧應用,精進晶圓缺陷檢測系統,並將專業技術展開至各廠區,更可放眼先進5、3、2奈米,朝全智能工廠的目標邁進。奠基於台積電在高階晶圓製程技術的領先地位,並成為協助客戶成長的好夥伴,台積電F15B威熊圈期望能拋磚引玉,持續推動未來台灣企業在智能化應用的發展。

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