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台灣持續改善競賽 台積電晶圓14A廠黑皮晶鑽圈獲金塔5星獎

2021-01-19 18:27經濟日報 陳華焜

晶圓14A廠為台積公司在南台灣的主要生產基地之一,持續研發特殊晶圓製程,以多樣化的特殊晶片滿足客戶需求,進而開拓人類的智慧生活,其中包括CMOS影像感測晶片、BCD電源管理晶片、Embedded Flash車用晶片等,這些晶片皆需要大量且複雜的離子植入製程,才能滿足如此多樣的設計與應用。

台積電晶圓14A廠黑皮晶鑽圈,離子植入製程提升產能與效率,榮獲台灣持續改善競賽至...
台積電晶圓14A廠黑皮晶鑽圈,離子植入製程提升產能與效率,榮獲台灣持續改善競賽至善組自主改善類金塔5星獎。 中衛/提供

因此,黑皮晶鑽圈本次主題為「離子植入產能大躍進」,順利從產能、成本、自動化三方面取得驚人成效。透過機台離子源改造、智慧化派工、以及自動掃雷報表,並整合超過1,500種離子植入製程,並於半年內提升18%產出,創造超過18億元的改善效益。此項改善手法的應用,提升14A廠的交貨速度,並提升客戶的市場競爭力,創造台積電與客戶的雙贏。

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為達成提升產能的目標,圈隊設備同仁針對離子植入機台的心臟-離子源進行剖析與改造,以油電車與氣炸鍋等創意發想,研發出新型態電源設計並搭配高效率散熱模組,提升機台可利用率並榮獲台灣與中國大陸專利。圈隊製程同仁則針對多樣且繁瑣的植入程式,透過離子束設定的最佳化,提升機台生產速度與生產效率。

此外,圈隊的製造部同仁亦透過歷年金塔獎的改善經驗,運用基因演算法大幅減少機台等候產品以及轉換植入程式的空窗時間,藉此提升效率。除了生產效能的提升之外,圈隊同仁亦開發出智慧生產、全天化的產線監控報表,以自動化、數據化縮短產線同仁之間的溝通成本。

晶圓14A廠秉持連續六年的金塔獎改善經歷,這次更順利以黑皮晶鑽圈、黑皮晶品圈成功挑戰一日雙塔,展現晶圓14A廠同仁對於品質與產能的要求成果。

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