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汎銓支援IC設計先進製程的電路修補及分析

2021-01-14 13:33經濟日報 翁永全

對於電晶體層級的故障,精準定位是進行下一步材料分析最關鍵的一步。過往的做法是利用nano-prober確認電晶體電性,搭配電子束定位技術,如EBIC、EBAC、或EBIRCH,將故障位置縮小到只有50-100奈米,最後由高解析的TEM確認故障狀況。

隨著製程微縮,nano-prober量測難度日愈提高,為滿足第一線先進晶圓代工廠與IC設計公司的需求,汎銓科技領先引進同業唯一可支援至少到5奈米製程量測的nano-prober,並搭配與系統整合的EBIC、EBAC、以及EBIRCH功能,讓汎銓科技故障分析如虎添翼,提供先進製程客戶完整一站式的服務。

營運長廖永順(中)帶領的業務團隊,不僅具備高顏值,更以專業服務打動客戶。 汎銓科...
營運長廖永順(中)帶領的業務團隊,不僅具備高顏值,更以專業服務打動客戶。 汎銓科技/提供

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除了先進故障分析,第一線IC設計公司在先進製程電路修補也有需求,汎銓科技在2020年第四季引進最新的FIB電路修補設備Centrios,可支援5奈米製程,搭配最新的離子束系統與整合的多化學氣體輸送設計,難度較高的晶背電路修補,大幅提升成功率與效率。

汎銓科技積極建置高階分析機台,靠著多年經驗累積與自我研發,以超群的故障分析技術工法領先同業。以先進製程晶片全平面/局部精準去層(delayer)為例,無論大面積且複雜製程的應用處理器,或長條形驅動晶片,都難不倒汎銓經驗豐富的工程師,全平面去層品質更是傲視同業。

市場公認難度較高的先進鰭魚式電晶體(FinFET)全去層,汎銓憑藉自行研發的特殊工法,有較高的成功率,獲得重要客戶認同。隨著積體電路進入超越摩爾定律時期,新型態異質整合封裝體與第三類半導體日新月異,因應此新趨勢,汎銓開發各式封裝體的開蓋(decap),與取三五族晶片技術,讓分析無縫接軌,成為半導體高階製程真正的領航者。

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