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志聖真空壓膜機 助力TSV填孔製程

2020-09-23 19:21經濟日報 翁永全

成立54年以來,CSUN志聖工業(2467)發展出許多受到業界好評的長青加熱設備。在2020半導體展(攤位:4樓M0434),志聖展出自動化烤箱、壓力烤箱及爐管加熱設備,也有Carrier Bonder及晶圓級真空壓膜機等新世代產品。

烤箱的品牌眾多,均溫性是半導體廠選擇的第一考量,對潔淨度也嚴格要求,都是志聖的強項。在一切向自動化看齊的今日,志聖的自動化烤箱也居業界領先地位。自動化烤箱以加熱設備為中心,再依需求納入機械手臂、晶圓傳送移載設備(EFEM)甚至OHT等自動化設備,展現強大的整合能力。

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FC載板在塗膠製程後需進行除泡,壓力烤箱是重要的設備,為相當特殊的產品,志聖採取正壓或真空兩種設計方式,達到極高的除泡率。爐管加熱設備是該公司的另一寶,600度高溫時,仍可維持CLASS 10以下的潔淨度。熱風會導致污染物增加,半導體製程對製程潔淨度嚴格要求,志聖的爐管加熱設備以幅射加熱,兼顧溫度與潔淨度,有效化解這個致命傷。

研發副處長陳明宗(左起)、營業處長黃興誠、協理吳晏城),是志聖工業在設備研發及銷...
研發副處長陳明宗(左起)、營業處長黃興誠、協理吳晏城),是志聖工業在設備研發及銷售的重要幹部。 志聖/提供

志聖也針對不同產業研發各種烘烤設備,蓬勃發展的車用電子、無人車、CPU及IC製造產業,拉高對半導體測試的上下限及嚴謹度,為產品發展的重要分水嶺。隨著產業發展,志聖跨入低溫設備,以Burn in Oven與測試廠緊密合作。強調可以模擬極高溫或極低溫的使用環境,仍確保成品符合市場要求。

志聖在半導體先進封裝多所著墨,應用於CoWoS之2.5D TSV製程的Carrier Bonder,已出貨多台並且量產。除了WLP,該機也可對應PLP玻璃封裝。PLP雖尚未大量生產,但多家大廠積極投入,先期研發帶動設備需求。志聖的CP值高於日系及歐系品牌,是更好的選擇。

志聖也成功研發晶圓級真空壓膜機,用在TSV填孔製程以及光阻、介電層貼合,成功擺脫日系對手的競爭,介電層的應用與大廠深入合作。晶圓完成介電層貼合後,接著要進行烘烤,烤箱是志聖的核心強項,以優異的均溫性及class 10無塵等級,為客戶解決製程上的難題。

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