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SIJ 改寫業界噴塗規格!推動次世代半導體製程發展

2020-09-22 09:17經濟日報 翁永全

科技產業發展細線化製程,大廠競相邁向次世代先進製程,除了自力研發,更期望著殺手級設備的出現。許多設備商都摩拳擦掌,以新一代技術搶進市場,日本SlJ公司的微米精密噴塗設備(Super Inkjet printer),可說為業界點亮一盞明燈。

昱凱科技業務副總經理曾碧珊表示,開光罩,進行曝光、蝕刻及顯影等黃光製程,幾乎是半導體製造行之多年的公式。但基於成本及良率考量,以及先進封裝的堆疊複雜性提高,限縮黃光的適用性時,便突顯了SlJ微米精密噴塗設備的重要性。

3D立體堆疊技術 昱凱/提供
3D立體堆疊技術 昱凱/提供

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SIJ微米精密噴塗設備的超級噴墨技術,最早源自於日本產業技術綜合研究所,由該所的奈米技術研究部門開發,不僅顛覆既有的噴塗概念,也實現了10,000 cps的高黏度非加熱吐出。其吐出的液滴不到家用噴墨印表機的十分之一,體積為千分之一以下,可對應1µm~50µm的超細線寬,且超微細液滴很快乾燥,當落在同一位置時,可以形成立體的堆疊結構。

SIJ在半導體、FPD(Micro LED) 及醫療生技細胞培養等等應用上潛力十足,截至目前SIJ微米精密噴塗設備全球銷售近百台,遍及西班牙、芬蘭、英國、德國、瑞士、美國、義大利、沙烏地阿拉伯及波蘭等14 國。在台灣除了有銷售實績外,更與台灣研究學術單位合作實驗計畫。另外在材料對應上,也因對應黏度範圍大(0.5~10,000cps) 材料選擇上具備優勢,因此取得了銀和銅等奈米墨水和絕緣性墨水、各種抗蝕劑、結合劑、蛋白質等廣泛性的液體類的塗出實績。

SIJ專利噴塗技術,可打出均勻的Dot ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ專利噴塗技術,可打出均勻的Dot ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ專利噴塗技術,可打出均勻的Dot ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ專利噴塗技術,可打出均勻的Dot ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ可對應1µm~50µm的超細線寬 ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ可對應1µm~50µm的超細線寬 ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ可對應1µm~50µm的超細線寬 ,上圖為實際噴塗狀況。
SIJ可對應1µm~50µm的超細線寬 ,上圖為實際噴塗狀況。

昱凱1994 年成立,為經驗豐富的光電、半導體設備材料專業代理商,提供銷售、安裝、技術支援等等全方位服務,SIJ微米精密噴塗設備、Technica Fit 的wafer洗淨設備、Ionizer bar 及SAKURA 電漿感測片、TOSHIBA Lighting,將在9 /23~9/25 SEMICON Taiwan 展出。(展覽攤位4F #L0001) 網址:http://www.uk-tech.net/,電話(03)357-6442轉203。

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