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SEMSYSCO提供半導體業創新的濕製程方案

2020-09-17 12:56經濟日報 曹松清

SEMSYSCO提供半導體業創新的濕製程方案,參加「SEMICON Taiwan...
SEMSYSCO提供半導體業創新的濕製程方案,參加「SEMICON Taiwan 2020」,攤位號碼為「I2916」。 曹松清/攝影
SEMSYSCO是一家全球公司,專門為半導體和相關行業提供創新的濕製程方案。靠著合格工程師的長期經驗,使其持續地提供最先進,可靠的優質服務。

該公司的目標是透過積極的引導、傑出的服務和完整的備件,來滿足業界在製程上的需求。該公司說:「我們了解客戶不斷變化的要求,我們認真傾聽並緊密地更新行業趨勢。」

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SEMSYSCO銷售和服務機構遍布全球,而其製造和工程專業知識則嚴格保留在奧地利。憑藉其創新的處理機台,SEMSYSCO使其客戶能夠快速將其製程擴展到不同的基板尺寸,甚至從水平晶圓工藝到垂直面板工藝。

該公司的產品分為三個類別:Triton用於水平單晶圓處理;VHS-P用於垂直面板處理;Galaxy用於晶圓批量處理。該公司的產品滿足客戶對於所有濕製成加工要求的標準化,並更強化客戶所需要的功能。該公司說:「我們按照既定標準提供高度定制化服務,以使我們的產品滿足客戶的需求。」

SEMSYSCO已準備好進行工業4.0轉換,從而可以抓取和使用所有相關過程數據並通過例如終點檢測系統。

GALAXY批量處理晶圓機台。 SEMSYSCO公司/提供
GALAXY批量處理晶圓機台。 SEMSYSCO公司/提供

該公司借助Galaxy批量處理晶圓機台,統整了多年的批量處理晶圓經驗與通常僅在單晶圓機台上才能找到的過程控制技術。此外,該機台可以滿足業者的製程需求,使業者可以啟動原型應用程序以及運行批量生產流程。

批量處理機台的模組化設計為業者提供所有加工要求的相關配置。從單腔體手動機台到混合了溶劑或酸處理腔的雙腔體,四個或至八個腔體的全自動機台,不但基本工具可保持不變,並增加了更多功能層。

最重要的是,在同一機台內,業者可以使用托盤進行手動盒式裝載,並轉換為監護托盤以實現完全自動化。通過更換載體,業者還可以輕鬆運行不同尺寸的基板。

另一個特點是增加了浸沒槽,以實現金屬的無電沉積。該公司的Galaxy-EL具有預先處理功能,漂洗乾燥的分批處理室以及用於沉積非常薄且非常均勻的金屬所必需的槽,同時提供了卓越的槽體壽命,最小的化學液廢棄以及出色的均勻性。

TRITON單晶圓處理晶圓機台。 SEMSYSCO公司/提供
TRITON單晶圓處理晶圓機台。 SEMSYSCO公司/提供

從其概念產生到2013年交付,Triton機台一直是所有單晶圓濕製程的主力產品,穩定且具有模組化設計。

該公司機台的模組化構建,使客戶能夠為達成大規模生產。Triton機台就像是一件精密的瑞士軍刀幫助您研發或作為原型配置,進而發揮強大的性能且可靠。

該公司說:「在模組化內,我們不斷創新我們的設計平台。我們的客戶可以選擇為其工具配備高速電鍍系統,以代替傳統的噴泉式電鍍機,或者選擇一個上部腔室,該上部腔室允許在電鍍腔室上方進行預潤濕以及最終漂洗/乾燥,而無需機械手臂移動。」

該公司為客戶提供最大的靈活性。機台隨時準備來支撐其他腔室和/或槽室,並可隨著業者的製程需求而添加。其模組化思維使將新開發的腔室添加到具有擴展空間的現有機台中成為可能,從而確保了客戶的投資前景。

VHS-P垂直面板處理。 SEMSYSCO公司/提供
VHS-P垂直面板處理。 SEMSYSCO公司/提供

該公司於2016年推出最新產品VHS-P,可在垂直腔室中處理大於300x300mm²的面板。高速電鍍系統使其能夠在水平配置下在單晶片基板上實現本已優異的均勻性和電鍍速度,而垂直腔室更是該系統真正發光的地方。

通過在表面附近仔細均勻地注入電鍍電解液並同時線性化電場,這是現在業界上唯一可以使大/超大型基板上進行細線電鍍的創新產品。其了解客戶的需求,在所有濕製程下,除了電鍍,還提供了完整的光刻膠剝離/顯影以及蝕刻製程,可實現各種RDL(再分佈層)製程來滿足業者的封裝需求。

因而,應用在先進封裝、PCB Fine Line、E- WLP DIE First & Die Last 、EMIB Embedded Multi-Die I Bridge、Automotive、Power IC、MEMs、BEOL、LED 、III-V等市場。

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