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保障半導體製程電路安全 昱凱引進日本免耗材型除靜電棒

2020-09-14 08:01經濟日報 翁永全

光電半導體產業對於任何可能對良率造成危害的因子,都以「除惡務盡」的態度積極面對。無處不在的靜電,對晶圓或面板上的微細電路會帶來短路或斷路的致命破壞,成為良率的隱形殺手。晶圓廠對此高度重視,封裝廠也都加裝除靜電棒(Ionizer bar)為製程把關。

昱凱科技表示,除靜電棒的原理是藉由釋放正、負離子來中和靜電,以避免電路被擊穿破壞。以半導體為例,靜電會隨著每一道製程持續累積;每當晶圓從Stage 脫離移動至下一站製程時,靜電可能瞬間爆增百倍。

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X-Ray 除靜電或除靜電棒,是光電半導體業最常用來消除靜電的二種方式。X-Ray 除靜電的除靜電壓制力強,效果雖佳但單價也高,作業區要求較高的密封性,且需要針對X-ray 進行管理,公司內需要設置安全管理師,使用成本高,突顯了除靜電棒的優勢。

Technica Fit 除靜電裝置使用線狀電極。 昱凱/提供
Technica Fit 除靜電裝置使用線狀電極。 昱凱/提供

昱凱表示,日本Technica Fit公司為消除製程中的靜電,以專屬設計條狀電極,推出除靜電棒,不同於傳統除靜電棒使用耗材類的探針,可以進行大面積作業,不必清潔保養,也省下固定替換的成本。用於潔淨等級較差的環境時(例如class 1,000 以上),不必擔心吸附週遭的粉塵粒而降低放電能力,受到市場好評。

靜電是許多產業製程良率的大敵,以汽車烤漆塗裝廠為例,也力抗靜電以避免吸附粉塵。Technica Fit 的除靜電棒除了應用在光電產業,在其他產業深具應用潛力,今年第二季已與封測廠合作進行為期半年的除靜電棒測試驗,未來將以光電半導體為目標市場。

昱凱1994 年成立,為經驗豐富的光電、半導體設備材料專業代理商,提供銷售、安裝、技術支援、移機的全方位服務,Technica Fit 的wafer 洗淨設備、Ionizer bar 及SAKURA 電漿感測片、TOSHIBA Lighting、SIJ 超微細噴墨設備,將在9 月的SEMICON Taiwan 展出。電話(03)357-6442 轉203。

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