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汎銓領航業界 擴充「ALD前製備樣品」

2020-05-17 10:52經濟日報 翁永全

半導體產業對於外在環境變數一向具有較高免疫力,在這波新冠肺炎 肆虐中受傷相對輕微;台灣疫情趨於緩和,為產業注入一劑強心針,半導體可望成為帶頭衝的火車頭。

汎銓科技專注於半導體先進製程的材料分析,領先群倫,具有絕對競爭優勢,5nm以下材料分析業務逐漸成為營收主力。董事長柳紀綸表示,半導體製程不斷創新,隨著國際大廠投入3奈米以下先進製程研發,汎銓亦步亦趨,成為重要的合作夥伴,在新竹、南科、上海及南京都有營運運點。

董事長柳紀綸(前排)帶領團隊,使汎銓科技在半導體鏈占有重要的一席之地。 汎銓/提...
董事長柳紀綸(前排)帶領團隊,使汎銓科技在半導體鏈占有重要的一席之地。 汎銓/提供

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EUV光阻、Low K等為半導體前段製程關鍵材料,如何避免發生變形

、倒塌,以及妥善處理的能力,是材料分析實力的最佳觀察點。汎銓表示,由於上述材料的特殊特性,在以電子顯微鏡技術觀察材料的微結構與成份時,很容易產生材料變形、倒塌等人為缺陷,令研發人員十分困擾,並導致誤判、研發方向出錯。

對於多數業者而言,這是極為棘手的問題,半導體先進技術持續向前走,也形成巨大的路障。對此,汎銓研發出領先同業的ALD原子層沉積技術分析工法,能讓樣品維持原貌,避免人為因素導致缺陷,在進行每一代製程微縮研發過程中,不可或缺且至關重要。

目前ALD樣品前製備技術已廣泛使用在MA、FA等多項分析,市場穩定成長。為滿足客戶需求,汎銓持續擴充「ALD前製備樣品」技術產能,提供最正確的資料,加速製程研發時程。

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