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集結技術能量 加速下世代檢測計量技術發展

2019-11-06 16:26經濟日報 曹松清

由工業技術研究院量測技術發展中心與SEMI國際半導體產業協會推動成立的「SEMI檢測與計量委員會」,日前選出正副主席,由致茂電子公司董事長黃欽明擔任主席,副主席則由國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心副主任陳峰志、漢民科技公司處長蔡文豪、工業技術研究院量測技術發展中心執行長林增耀等3人擔任。

根據資料統計,半導體檢測市場將從2019年的33.6億美元成長到2024年的53億美元。隨著電子裝置微小化,生產精密裝置需要更先進的檢測設備,維持高良率、高產量變得比以往更困難,因此計量技術自動化、虛擬量測技術、數位雙胞胎、智慧工廠等相關應用,都將成為下世代檢測與計量技術發展的關鍵因子。

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在先進製程持續向個位數節點微縮,同時朝異質整合方向發展的趨勢下,檢測與計量技術不僅可幫助業者更精準且即時地找出原物料瑕疵或製程中的不良品,減少影響半導體製造良率的因素;同時,檢測與計量技術所取得的數據資料,更是半導體製造業者落實智慧製造的關鍵。

「SEMI檢測與計量委員會」集結國內外產學研機構,以建立半導體檢測與計量技術之全球性合作平台為宗旨,鏈結上、中、下游產業供應商,討論交流關鍵檢測技術。今年9月在SEMICON Taiwan(國際半導體展)期間所舉辦的「半導體先進檢測與計量國際論壇」,便邀集包括科磊(KLA)、國研院台灣儀科中心、液空集團(Air Liquide)、應用材料(Applied Materials)、台灣堀場(HORIBA)、均豪精密及量測技術發展中心等專家,共同探討半導體檢測與計量之市場趨勢、產業標準、設備發展,及各種技術應用,包括奈米計量應用、重佈線路層檢測與計量技術、橢偏儀法的應用、非分散性紅外線應用、皮秒成像電路分析技術、針對極紫外線隨機缺陷的掃描式電子顯微鏡應用、先進與專門材料品質控制的需求及挑戰等,希冀對先進製程的檢測與計量技術發展帶來助益。

委員會將在新任正副主席的帶領下,持續關注檢測與計量領域產業發展的挑戰與機會,暢通跨界溝通橋樑,致力於解決單一業者難以突破的產業問題,加速相關技術的突破與發展。

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