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鈺祥AMC4.0 助半導體業 年省3,000萬

2019-09-17 09:00經濟日報 李憶伶

半導體AMC微污染防制化學濾網業者鈺祥企業,18日在SEMICON TW發表後摩爾定律時代的AMC 4.0 最佳解決方案,協助半導體業年省3,000萬,現場有不少業者都對該解決方案展現高度興趣。

鈺祥企業團隊發表AMC4.0,助半導體業年省3,000萬。 李憶伶/攝影。
鈺祥企業團隊發表AMC4.0,助半導體業年省3,000萬。 李憶伶/攝影。

鈺祥企業擁有2套和工研院同等級的濾網測試系統,以開發測試濾網。傳統的3合1鋁框濾網,小型的濾網+框體有將近30公斤重,且只要其中的一片濾材就要整片更換,而鈺祥新型的AMC4.0濾網,將原有傳統濾網做拆解,變成固定層和加可拆解的活動層濾網。

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固定濾網部份,以鈺祥的專利技術,延長除酸、除鹼濾網的壽命,一體成形不用再安裝外框,同時也有防火耐溫設計,一年可省下3,000萬的框材費和42%的廢棄物清運費。

而活動層主要是去除VOCs,可以減少66%耗材費用,強化氣密介面,更能準確更換標的失效濾網,同時也考量作業環境,加強防呆設計,更容易定位與更換拆卸。

鈺祥企業在空氣微污染控制專業已有超過30年的經驗,深知業界需求與痛點,更以系統化的角度,提供從評估、分析、提案、客製化、測試、生產、安裝到維護的垂直整合解決方案。

半導體奈米製程邁入後摩爾定律時代,AMC成為發展製程的重要挑戰之一,空氣中的MA, MB, MC, MD, ME (H2S, DMS, CS2 , Acids, NH3, VOC, O3等)氣體往往成為影響製程良率的關鍵。為有效控制AMC,除了建置完整的空調設備,化學濾網儼然是不可或缺的角色,且會依不同型態、結構、濾材、吸附特性而有不同的功能。

然而,單一種化學濾網並無法同時解決所有AMC問題,若要能夠全面控制AMC,則必須規劃完整的控制方案,因此,鈺祥以專業的技術與研發能量,針對外氣空調箱MAU、風扇過濾組FFU、設備機台端,皆有完整的客製化AMC控制解決方案,以滿足半導體大廠、DRAM大廠、面板、光電、電子業等大廠的製程需求,提供台灣各產業30年以上的優質服務,長期支撐高科技產業的命脈。

鈺祥企業協助業界推動循環經濟,發展出四大解決方案,獲得DRAM大廠36個月訂單。...
鈺祥企業協助業界推動循環經濟,發展出四大解決方案,獲得DRAM大廠36個月訂單。 鈺祥企業/提供。

鈺祥企業持續跟著產業趨勢前進,與最先進的半導體奈米製程同步,提供AMC 4.0控制解決方案,也結合循環經濟議題,持續走在客戶的前端,協助業界推動循環經濟脈動,發展更符合客戶需求之循環經濟解決方案,包括濾筒重覆再利用、濾料回收暨異業再利用、濾網結構模組化與易拆解、提升濾材再生效能等四大方案。

鈺祥企業總經理莊士杰也鄭重呼籲,化學濾網的耗材和廢棄物後續的清運處理費用驚人,也容易造成環境負擔等問題,更是另一項看不見的隱形成本,業界應要重新檢視,將耗材與廢棄物清運處理費用納入產品成本裡,才能真正反應出產品效能與成本。

現場另可拍照打卡。 李憶伶/攝影。
現場另可拍照打卡。 李憶伶/攝影。

而近二年堅持以循環經濟的角度在產品與營運上下足功夫,已經獲得不少晶圓大廠、DRAM大廠36個月的訂單,產能持續擴張,也持續布局海內外各據點。

鈺祥企業在SEMICON TW 現場還可以互動打卡上傳FB,想了解AMC 4.0最佳解決方案,提升效能降低濾網費用,歡迎到南港展覽館一館4樓,L0309

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