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鈺祥AMC 4.0解決方案 高彈性易安裝

2019-09-09 17:55經濟日報 李憶伶

先進奈米製程發展的背景下,空氣微污染分子(AMC)對製程影響衝擊顯著,不同的化學污染氣體會造成不同程度的影響,如廠房銹蝕、改變傳輸速度、金屬箭腐蝕、線路短路、增加阻抗、硼磷參雜、改變閥電壓、干擾電訊強度、漏電、影響潔淨程度等。

鈺祥企業近幾年在半導體業的AMC微污染防治系統大放異采,陸續取得晶圓製造龍頭大廠、美國記憶體大廠訂單。鈺祥企業總經理莊士杰表示,隨著半導體製程發布從2019年的5奈米,朝2050年0.1奈米前進,AMC微污染的解決方案需求大增。

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化學濾網大廠鈺祥企業,日前獲工業局、產基會邀請,分享電子業跨產業循環經濟解決方案,現場包括友達光電、群創光電、艾克爾科技、日月光、矽品、台積電、南亞科技、環球晶圓等產業代表出席。

經理孔國維表示,鈺祥導入循環經濟五大概念,以7R模式推動翻轉產品成長新思維,以系統化的方式協助業界邁向循環經濟,因此可以屢屢解決業界的需求,創造雙贏。

鈺祥可以提供製程中裡AMC微污染控制的解決方案,同時兼顧循環經濟,降低成本,半導體產業各界深感興趣,甚至可運用再生式化學濾網取代目前為解決VOCs常用的沸石轉輪,延長系統壽命。

而鈺祥企業可以去除包括MA、MB、MC、MD、ME(H2S、DMS、CS2、Acids、NH3、VOC、O3等)氣體,能有效控制NOx及SOx,且不會再釋出NOx,並提供產品與服務可依業者的需求客製化。

鈺祥企業現場也首次發表AMC 4.0解決方案,結合傳統三合一及堆疊式濾網的優勢,具高度彈性,不受固定空間、設備等規格限制,易定位且易安裝,具有防呆設計的氣密模組式濾網,獲得現場的高度詢問。

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